[發明專利]一種一級主動式超低頻垂直隔振系統

在審

• 申請號: 202211452707.7
• 申請日: 2022-11-21
• 公開（公告）號: CN115685362A
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 要佳敏;莊偉;田秦;吳書清
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院
• 主分類號: G01V7/00
• 分類號: G01V7/00
• 代理公司: 成都宏田知識產權代理事務所(普通合伙) 51337
• 代理人: 鐘隆輝

1.一種一級主動式超低頻垂直隔振系統，包括被動式隔振平臺、負載、振動傳感器(4)、驅動器(5)、控制電路，其特征在于，所述被動式隔振平臺內設有水平限位機構，所述水平限位機構為任意能夠限制物體的三個旋轉自由度和在水平面內平移的兩個自由度的機構。

2.根據權利要求1所述的一級主動式超低頻垂直隔振系統，其特征在于，所述被動式隔振平臺包括基座(1)、頂部平臺(2)，所述頂部平臺(2)水平設置在基座(1)內，所述基座(1)與頂部平臺(2)之間設有彈簧(3)。

3.根據權利要求1所述的一級主動式超低頻垂直隔振系統，其特征在于，所述負載包括參考鏡(6)、鏡架(13)、配重(7)。

4.根據權利要求2所述的一級主動式超低頻垂直隔振系統，其特征在于，所述水平限位機構為限位桿(8)，所述限位桿(8)設有若干根，其中一部分呈旋轉對稱分布在上層水平面內，另一部分呈旋轉對稱分布在下層水平面內；每根限位桿(8)的兩端分別與頂部平板(2)和基座(1)連接。

5.根據權利要求4所述的一級主動式超低頻垂直隔振系統，其特征在于，所述限位桿(8)為鋼絲或采用形狀記憶合金制成的桿。

6.根據權利要求2所述的一級主動式超低頻垂直隔振系統，其特征在于，所述限位機構為直線軸承組件(9)，所述直線軸承組件(9)包括光軸(10)、軸承(11)、連接件(12)，所述光軸(10)與基座(1)連接，所述連接件(12)的下端與頂部平臺(2)連接，所述連接件(12)的上端通過軸承(11)與光軸(10)連接。

7.根據權利要求1所述的一級主動式超低頻垂直隔振系統，其特征在于，所述振動傳感器(4)為地震計或加速度型傳感器。

8.根據權利要求1所述的一級主動式超低頻垂直隔振系統，其特征在于，所述驅動器(5)為音圈電機或其他直流電機。

9.根據權利要求1所述的一級主動式超低頻垂直隔振系統，其特征在于，所述控制電路為模擬電路或數字電路。

10.根據權利要求9所述的一級主動式超低頻垂直隔振系統，其特征在于，所述控制電路包括放大模塊、調偏模塊、濾波模塊、PID模塊、驅動模塊五大部分，以及電源整流模塊、基準模塊、電機開關輔助環節。