[發明專利]熱爐爐體

在審

• 申請號: 202211449769.2
• 申請日: 2022-11-18
• 公開（公告）號: CN115808083A
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發明（設計）人: 郭永勝;龐愛鎖;劉群;林佳繼
• 申請（專利權）人: 深圳市拉普拉斯能源技術有限公司
• 主分類號: F27D1/00
• 分類號: F27D1/00;H01L21/67;F27D11/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

本發明公開了一種熱爐爐體，該熱爐爐體包括保溫體、支撐裝置和加熱裝置，支撐裝置沿保溫體的軸向方向延伸且與保溫體連接，加熱裝置與保溫體可拆卸連接。該熱爐爐體的加熱裝置與保溫體可拆卸連接，加熱裝置損壞時不需要更換整段保溫體，只需要將加熱裝置從保溫體上拆下更換即可，提升了更換效率和維修效率。

技術領域

本發明涉及半導體制造設備技術領域，尤其涉及一種熱爐爐體。

背景技術

高溫熱爐是半導體制造技術領域的常用設備，目前的高溫熱爐一般采用通電螺旋加熱絲在高溫熱爐的爐體內形成高溫熱場，為了確保高溫熱場的穩定性，高溫熱爐的爐體通常具有保溫體，而螺旋加熱絲安裝在保溫體上的安裝槽內。在實際生產制造中，一般用吸覆成形技術，把螺旋加熱絲與保溫體做成一個整體，這種結構需要將制造保溫體的模具覆蓋在螺旋加熱絲上并且固定，此固定方式需要的時間相當長，很浪費時間，降低了熱爐爐體的組裝效率，并且當螺旋加熱絲損壞后，由于保溫體和螺旋加熱絲為一體式結構，很難更換螺旋加熱絲。

發明內容

本發明的目的在于提出一種熱爐爐體，該熱爐爐體的加熱裝置與保溫體可拆卸連接，在提升熱爐爐體的組裝效率的同時還能夠方便加熱裝置更換。

為實現上述技術效果，本發明的技術方案如下：

本發明公開了熱爐爐體，包括：保溫體；支撐裝置，所述支撐裝置沿所述保溫體的軸向方向延伸且與所述保溫體連接；加熱裝置，所述加熱裝置與所述保溫體可拆卸連接。

在一些實施例中，所述支撐裝置為支架，所述保溫體沿其軸向的一端設置第一固定環，所述第一固定環上設有第一固定部，所述支架與所述第一固定部配合。

在一些具體的實施例中，每個所述支架包括支桿和卡接塊，所述支桿的一端與所述第一固定部配合，所述卡接塊與所述支桿相連，且所述卡接塊上設有卡槽，所述卡槽卡接所述加熱裝置。

在一些更具體的實施例中，所述卡接塊包括套筒部和卡接部，所述套筒部套設于所述支桿，所述卡接部具有所述卡槽。

在一些更具體的實施例中，所述卡槽包括開口部和限位部，所述螺旋加熱絲能夠從所述開口部卡入所述卡接塊以使所述加熱裝置配合于所述限位部。

在一些具體的實施例中，所述支架為支撐管，所述保溫體沿其軸向的另一端設置第二固定環，所述第二固定環上設有第二固定部，所述支架的另一端與所述第二固定部配合，所述加熱裝置沿所述保溫體的軸向螺旋延伸設置且所述加熱裝置套設于所述支架。

在一些更具體的實施例中，所述第一固定環與所述第二固定環中的至少一個為法蘭盤，所述法蘭盤與所述保溫體相連，所述第一固定部和所述第二固定部為所述法蘭盤的法蘭孔。

在一些實施例中，所述加熱裝置為螺旋加熱絲。

在一些具體的實施例中，所述螺旋加熱絲為多個，且沿所述保溫體的周向設置，每個所述螺旋加熱絲沿所述保溫體的軸向螺旋延伸設置。

在一些更具體的實施例中，所述支撐裝置為多個，且每個所述螺旋加熱絲套設在一個所述支撐裝置上。

在一些具體的實施例中，多個所述螺旋加熱絲沿所述保溫體的軸向設置，每個所述螺旋加熱絲沿所述保溫體的周向螺旋延伸設置。

在一些更具體的實施例中，所述支撐裝置為多個，且沿所述保溫體的周向設置，在同一個圓周面上，多個所述支撐裝置與一個所述螺旋加熱絲相連。

在一些實施例中，所述保溫體包括一體成型的保溫筒體或者多段連接的保溫筒體。