[發(fā)明專(zhuān)利]三苯基甲鍺烷基甲硅烷和三氯甲硅烷基-三氯甲鍺烷及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202211447218.2 | 申請(qǐng)日： | 2018-05-23 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN115924918A | 公開(kāi)（公告）日： | 2023-04-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | J.泰希曼;M.瓦格納;H-W.萊爾納 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 贏創(chuàng)運(yùn)營(yíng)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C01B33/107 | 分類(lèi)號(hào)： | C01B33/107;C01B33/06;C07F7/30 |
| 代理公司： | 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 石克虎;張華 |
| 地址： | 德國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 苯基 烷基 硅烷 三氯甲 三氯甲鍺烷 及其 制備 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.用于制備三氯甲硅烷基三氯甲鍺烷的方法，
其中
將三氯甲硅烷基-三苯基甲鍺烷和AlCl3溶于溶劑中，由此得到反應(yīng)溶液，然后
將氯化氫以化學(xué)計(jì)量量冷凝到所述反應(yīng)溶液上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中
氯化氫以化學(xué)計(jì)量量，優(yōu)選以1-5?mol?HCl/mol?Cl3Si-GePh3，優(yōu)選3?mol?HCl/molCl3Si-GePh3的量來(lái)使用，和/或
AlCl3以0.1-3?mol?AlCl3/mol?Cl3Si-GePh3，優(yōu)選1-2?mol?AlCl3/mol?Cl3Si-GePh3的量來(lái)使用。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2制備的三氯甲硅烷基三氯甲鍺烷用于制備GeSi層的用途。
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