[發(fā)明專利]一種高靈敏度薄膜熱電堆型熱流計在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202211442940.7 | 申請日： | 2022-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN115727957A | 公開（公告）日： | 2023-03-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張叢春;呂振杰;楊伸勇;閆博;高向向 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海交通大學 |
| 主分類號： | G01J5/12 | 分類號： | G01J5/12 |
| 代理公司： | 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐紅銀;禹雪平 |
| 地址： | 200240 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 靈敏度 薄膜 熱電 熱流 | ||
1.一種高靈敏度薄膜熱電堆型熱流計，其特征在于，包括：
基底；
下層熱阻層，設(shè)于所述基底上；
若干對熱電偶首尾搭接形成的熱電堆薄膜，設(shè)于所述下層熱阻層上，每對所述熱電偶由一個正極熱電偶和一個負極熱電偶串聯(lián)形成，所述正極熱電偶與所述負極熱電偶之間呈階梯連接；所述下層熱阻層覆蓋于所述正極熱電偶與所述負極熱電偶相連的熱節(jié)點下方；
上層熱阻層，設(shè)于所述熱電堆薄膜上，所述上層熱阻層覆蓋于所述正極熱電偶與所述負極熱電偶相連的冷節(jié)點上方；
所述熱電堆薄膜的一端設(shè)有用于接出的正極熱電堆引線端，所述熱電堆薄膜的另一端設(shè)有用于接出的負極熱電堆引線端；所述熱電堆薄膜還具有測溫功能，所述負極熱電堆引線與所述正極熱電堆引線端相互連接形成一個熱電偶，通過引線測得溫度信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度薄膜熱電堆型熱流計，其特征在于，所述上層熱阻層和所述下層熱阻層采用同一種材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靈敏度薄膜熱電堆型熱流計，其特征在于，所述上層熱阻層的厚度為2-5微米，所述下層熱阻層的厚度為2-5微米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靈敏度薄膜熱電堆型熱流計，其特征在于，所述熱電堆薄膜由PtRh-Pt型熱電偶、Pt-ITO型熱電偶、WRex-WRey型熱電偶、ITO-In2O3型熱電偶和K型熱電偶中的任意一種串聯(lián)組成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高靈敏度薄膜熱電堆型熱流計，其特征在于，當所述熱電堆薄膜為PtRh-Pt型熱電偶串聯(lián)而成時，所述正極熱電偶和所述正極熱電堆引線端的材料均為鉑銠，所述負極熱電偶和所述負極熱電堆引線端的材料均為鉑；
當所述熱電堆薄膜為Pt-ITO型熱電偶串聯(lián)而成時，所述正極熱電偶和所述正極熱電堆引線端的材料均為Pt，所述負極熱電偶和所述負極熱電堆引線端的材料均為ITO；
當所述熱電堆薄膜為WRex-WRey型熱電偶串聯(lián)而成時，所述正極熱電偶和所述正極熱電堆引線端的材料均為WRex，所述負極熱電偶和所述負極熱電堆引線端的材料均為WRey；
當所述熱電堆薄膜為ITO-In2O3型熱電偶串聯(lián)而成時，所述正極熱電偶和所述正極熱電堆引線端的材料均為ITO，所述負極熱電偶和所述負極熱電堆引線端的材料均為In2O3；
當所述熱電堆薄膜為K型熱電偶串聯(lián)而成時，所述正極熱電偶和所述正極熱電堆引線端的材料均為鎳鉻，所述負極熱電偶和所述負極熱電堆引線端的材料均為鎳硅。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靈敏度薄膜熱電堆型熱流計，其特征在于，所述熱電堆薄膜中熱電偶的對數(shù)為范圍20-160對。
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