[發明專利]一種分子泵輔助測試裝置

在審

• 申請號: 202211437750.6
• 申請日: 2022-11-16
• 公開（公告）號: CN115808321A
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發明（設計）人: 許鵬;李賞
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: G01M99/00
• 分類號: G01M99/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 安曉紅

本發明涉及操縱分子泵測試技術領域，具體涉及一種分子泵輔助測試裝置，包括：機架內安裝分子泵；第二快換盤設置于機架側面；升降機構帶動第四連接板升降；第四動力結構設置在第四連接板上，且帶動第二連接板移動；第三動力結構設置在第二連接板上，且帶動承載板旋轉；第三快換盤設置在承載板上，且與第二快換盤進行連接和拆卸；本申請通過升降機構帶動第四連接板升降，第二快換盤對準第三快換盤；第四動力結構將第二快換盤靠近第三快換盤連接；在升降機構帶動安裝分子泵的機架上升后，第三動力結構帶動安裝分子泵的機架進行旋轉，以方便對分子泵進行角度調整，節省人力，降低勞動強度，實現測試過程自動化，提高升降溫測試效率。

技術領域

本發明涉及操縱分子泵測試技術領域，具體涉及一種分子泵輔助測試裝置。

背景技術

針對磁懸浮分子泵的六角度升降溫測試過程，是保證磁懸浮分子泵產品合格的重要環節之一，同時也是保證磁懸浮分子泵安全運行的關鍵工藝。磁懸浮分子泵作為真空獲得設備，在鍍膜和半導體領域均得到廣泛應用。由于現場安裝磁懸浮分子泵的設備各有不同，要求磁懸浮分子泵能夠滿足任意角度安裝，進而要求磁懸浮分子泵在任意角度狀態下均可正常懸浮。六角度升降溫測試是模擬磁懸浮分子泵在六個角度安裝條件下，面對惡劣工況，確認磁懸浮分子泵是否能夠正常運轉的測試。

針對磁懸浮分子泵六角度升降溫測試過程，需要依靠四名測試人員，對磁懸浮分子泵進行翻轉調整，獲得不同的測試角度，整個測試過程需要耗時3個工作日。磁懸浮分子泵在測試過程中，需要將磁懸浮分子泵安裝在測試臺架上進行測試；測試臺架與磁懸浮分子泵的總重量約100Kg，這給測試人員帶來較大負擔，在對磁懸浮分子泵進行翻轉調整時，極其費力，嚴重影響對磁懸浮分子泵進行測試的效率。

發明內容

因此，本發明要解決的技術問題在于克服在磁懸浮分子泵六角度升降溫測試的過程中，需要測試人員較多，調整角度費力，進而導致測試效率低的缺陷，基于以上情況，開發一種調整磁懸浮分子泵角度省力，提高磁懸浮分子泵六角度升降溫測試效率的分子泵輔助測試裝置十分必要。

為了實現上述目的，本發明提供一種分子泵輔助測試裝置，包括：

機架，內部適于安裝分子泵；

第二快換盤，設置于機架的側面；

升降機構，設有第四連接板，所述升降機構適于帶動第四連接板上下移動；

第四動力結構，設置在第四連接板上，且在第四動力結構上設有第二連接板，所述第四動力結構適于帶動第二連接板在水平面內進行直線往復移動；

第三動力結構，設置在第二連接板上，且在第三動力結構上設有承載板，所述第三動力結構適于帶動所述承載板在豎直平面上旋轉；

第三快換盤，設置在承載板上，所述第三快換盤適于與第二快換盤進行快速連接和拆卸。

可選地，所述升降機構包括：

四根直線導軌，豎直平行設置；

第五連接板，設置于所述四根直線導軌的頂端；

第二動力結構，設置于所述第五連接板上；

兩個主動鏈輪，分別位于所述第二動力結構的兩側，且兩個主動鏈輪分別與所述第二動力結構兩端的動力輸出連接；

兩個從動鏈輪，分別通過兩根鏈條與所述兩個主動鏈輪連接，且所述兩根鏈條豎直設置，所述第四連接板的兩端分別與兩根鏈條連接。

可選地，所述升降機構還包括：

第一主軸，作為第二動力結構兩端的動力輸出，在靠近兩端的位置分別與兩個主動鏈輪連接，且第一主軸的兩端通過第一軸承座安裝在第五連接板上；

從軸，靠近兩端的位置分別與兩個從動鏈輪連接，且從軸的兩端通過第三軸承座分別安裝在兩根直線導軌上。