[發(fā)明專利]一種二維柱面整形系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202211423228.2 | 申請日： | 2022-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN115718371A | 公開（公告）日： | 2023-02-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張永紅;顏宏;雒仲祥;李建民;廖原;羅佳 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國工程物理研究院應用電子學研究所 |
| 主分類號： | G02B27/09 | 分類號： | G02B27/09;G02B25/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51214 | 代理人： | 陳法君 |
| 地址： | 621000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 二維 柱面 整形 系統(tǒng) | ||
1.一種二維柱面整形系統(tǒng)，其特征在于，所述二維柱面整形系統(tǒng)包括Y方向擴束單元和X方向縮束單元，
所述Y方向擴束單元包括若干平凹柱面鏡和/或平凸柱面鏡，所述X方向縮束單元包括若干平凹柱面鏡和/或平凸柱面鏡；
所述Y方向擴束單元和X方向縮束單元基于各方向的擴束倍率或縮束倍率以及二維柱面整形系統(tǒng)的相差指標完成Y方向擴束單元和X方向縮束單元內(nèi)各鏡體的曲率半徑、厚度及光學間隔設置；
所述X方向縮束單元嵌套于Y方向擴束單元各鏡體間，完成輸入平行光束Y方向的擴束及X方向的縮束；或者完成輸入平行光束X方向的擴束及Y方向的縮束。
2.如權(quán)利要求1所述的二維柱面整形系統(tǒng)，其特征在于，所述Y方向擴束單元包括：第一Y方向擴束目鏡(1)、第二Y方向擴束目鏡(2)以及第一Y方向擴束物鏡(6)，所述第一Y方向擴束目鏡(1)、第二Y方向擴束目鏡(2)和第一Y方向擴束物鏡(6)的曲率為Y方向。
3.如權(quán)利要求2所述的二維柱面整形系統(tǒng)，其特征在于，所述X方向縮束單元包括：第一X方向縮束物鏡(3)、第一X方向縮束目鏡(4)和第二X方向縮束目鏡(5)；
所述第一X方向縮束物鏡(3)、第一X方向縮束目鏡(4)和第二X方向縮束目鏡(5)的曲率為X方向。
4.如權(quán)利要求3所述的二維柱面整形系統(tǒng)，其特征在于，所述二維柱面整形系統(tǒng)由平行光束輸入端開始依次分布為：第一Y方向擴束目鏡(1)、第二Y方向擴束目鏡(2)、第一X方向縮束物鏡(3)、第一X方向縮束目鏡(4)、第二X方向縮束目鏡(5)和第一Y方向擴束物鏡(6)。
5.如權(quán)利要求4所述的二維柱面整形系統(tǒng)，其特征在于，所述第一Y方向擴束目鏡(1)為平凹柱面鏡。
6.如權(quán)利要求5所述的二維柱面整形系統(tǒng)，其特征在于，所述第二Y方向擴束目鏡(2)為平凹柱面鏡。
7.如權(quán)利要求6所述的二維柱面整形系統(tǒng)，其特征在于，所述第一X方向縮束物鏡(3)為平凸柱面鏡。
8.如權(quán)利要求7所述的二維柱面整形系統(tǒng)，其特征在于，所述第一X方向縮束目鏡(4)為平凸柱面鏡。
9.如權(quán)利要求8所述的二維柱面整形系統(tǒng)，其特征在于，所述第二X方向縮束目鏡(5)為平凹柱面鏡。
10.如權(quán)利要求9所述的二維柱面整形系統(tǒng)，其特征在于，所述第一Y方向擴束物鏡(6)為平凸柱面鏡。
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