[發明專利]一種光路垂直度檢測裝置及方法

在審

• 申請號: 202211354956.2
• 申請日: 2022-11-01
• 公開（公告）號: CN116105972A
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發明（設計）人: 肖鴻瑋;陳松;賀鵬;肖志全;孟聰祿;許小強
• 申請（專利權）人: 湖北優光科學儀器有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 祝蓉蓉

本發明公開一種光路垂直度檢測裝置及方法，裝置包括箱體，所述箱體內設有第一反射鏡、第二反射鏡和第三反射鏡，所述第一反射鏡和第二反射鏡相對設置，所述第二反射鏡和第三反射鏡同側設置，所述第二反射鏡和第三反射鏡部分相對；經由通光孔進入箱體內的光入射至第一反射鏡，在第一反射鏡和第二反射鏡之間多次反射后，入射到第三反射鏡并經由第三反射鏡入射至觀察窗口。本發明通過光路的不斷反射增加光程，放大微小角度下光路的變化來檢測光路是否垂直，解決了微小角度調試需求下的光路垂直度檢測問題。

技術領域

本發明涉及光學光路垂直度檢測領域，具體為一種光路垂直度檢測裝置及方法。

背景技術

在光學領域中，光路的垂直度對光學檢測設備非常重要，調試產品時，往往光路的不垂直會造成調試結果有誤差。現有光路垂直度檢測大多是出于垂直入射的需求，較少考慮小角度的調試需求。

如果調試的產品是需要調整到某一微小角度才能達到需求的測量結果時，調試會比垂直入射需求的要求的調試困難很多，且難以采用垂直入射需求的調試方法來判斷光路是否垂直。

因此，有必要提供一種光路垂直度檢測方法，來實現微小角度調試需求下的光路垂直度檢測。

發明內容

為克服上述現有技術的不足，本發明提供一種光路垂直度檢測裝置及方法，用以解決上述至少一個技術問題。

本發明是通過以下技術方案予以實現的：

根據本發明說明書的一方面，提供一種光路垂直度檢測裝置，包括箱體，所述箱體內設有第一反射鏡、第二反射鏡和第三反射鏡，所述第一反射鏡和第二反射鏡相對設置，所述第二反射鏡和第三反射鏡同側設置，所述第二反射鏡和第三反射鏡部分相對；經由通光孔進入箱體內的光入射至第一反射鏡，在第一反射鏡和第二反射鏡之間多次反射后，入射到第三反射鏡并經由第三反射鏡入射至觀察窗口。

上述技術方案通過光路的不斷反射增加光程，放大微小角度下光路的變化來檢測光路是否垂直，解決了微小角度調試需求下的光路垂直度檢測問題。

作為進一步的技術方案，所述箱體包括上箱體、下箱體和觀察箱體，所述第一反射鏡設置在上箱體，所述第二反射鏡設置在下箱體，所述第三反射鏡設置在觀察箱體。

可選地，上下箱體疊放在一起，通光孔位于上箱體的右上方，出光孔位于下箱體的左下方。上下箱體之間形成光路反射空間，光經由通光孔進入反射空間并在第一反射鏡與第二反射鏡之間多次反射，直至從出光孔射出。

進一步地，從出光孔射出的光入射到第三反射鏡上，第三反射鏡朝向觀察窗口并將光反射至觀察窗口，以便于經由觀察窗口看到入射光的中心位于觀察屏的位置。

可選地，所述第三反射鏡為45度反射鏡。所述第三反射鏡的一部分伸入下箱體內并與第二反射鏡相接觸，以使第一反射鏡反射的光只能夠反射至第二反射鏡或第三反射鏡上，避免第一反射鏡反射的光被遺漏而造成檢測誤差。

作為進一步的技術方案，所述上箱體和下箱體相鄰設置，所述觀察箱體設置在下箱體遠離上箱體的一側。所述觀察箱體設置在下箱體的出光孔位置，以便于能夠接收第一反射鏡反射至出光孔的光。

作為進一步的技術方案，所述通光孔與觀察窗口呈對角設置。這樣設置可使光反射的光程更長，進一步增大觀察窗口看到的測量光與參考光的相對距離，便于微小角度調試。

作為進一步的技術方案，所述上箱體和下箱體的形狀和大小均相同。這樣設置是便于安裝和調試，保證入射光能夠經由多個反射鏡反射后入射至觀察窗口。

作為進一步的技術方案，所述第一反射鏡與第二反射鏡的反射面相對且反射面的長度相同。這樣設置可進一步增大光在兩個反射鏡之間反射的光程。

作為進一步的技術方案，所述第一反射鏡和第二反射鏡均呈梯形，兩個反射鏡的反射面位于梯形的斜邊一面。