[發明專利]一種晶硅太陽能電池磷擴散爐管的清理方法

在審

• 申請號: 202211340923.2
• 申請日: 2022-10-30
• 公開（公告）號: CN115522264A
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 景彥姣;彭平;高志強;夏中高;李旭杰;李興光
• 申請（專利權）人: 平煤隆基新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16;C30B31/18;C30B29/06
• 代理公司: 鄭州隆盛專利代理事務所(普通合伙) 41143
• 代理人: 趙媛媛

1.一種晶硅太陽能電池磷擴散爐管的清理方法，其特征在于，所述擴散設備包括控制部分、推舟凈化部分、爐絲加熱爐體部分、氣源部分；其中所述爐絲加熱爐體部分包括擴散爐管、熱電偶、進氣管、尾排管以及爐門；其具體清理過程如下：

步驟S1：升溫干化；將氮氣分兩次充入擴散爐管，控制氮氣流量分別為2～10L/min，10～20L/min；并將擴散爐管的溫度從850℃逐級升溫至900℃，時間為30～60min；

步驟S2：恒溫恒壓抽空清理；在所述步驟S1的擴散爐管中充入氧氣氧化，控制氧氣流量為0.5～2L/min，時間為30～50min；

步驟S3：降溫回常壓；將經步驟S2處理的擴散爐管經830～850℃、800～830℃、780～800℃的階梯降溫至750～780℃；控制氮氣流量為10～20L/min逐漸降至5～20L/min；時間為3～60min。

2.根據權利要求1所述的晶硅太陽能電池磷擴散爐管的清理方法，其特征在于，在步驟S1中，工藝壓力為1000～1060mbar。

3.根據權利要求1所述的晶硅太陽能電池磷擴散爐管的清理方法，其特征在于，在步驟S2中，所述恒溫恒壓抽空清理包括：依次循環處理的恒溫恒壓氮氣吹掃，抽空Ⅰ，恒溫恒壓氧氣、氮氣吹掃及抽空Ⅱ。

4.根據權利要求3所述的晶硅太陽能電池磷擴散爐管的清理方法，其特征在于，所述恒溫恒壓氮氣吹掃的工藝溫度是850～900℃，氮氣流量為10～20L/min，工藝壓力為50～200mbar；工藝時間為30～60min。

5.根據權利要求3所述的晶硅太陽能電池磷擴散爐管的清理方法，其特征在于，所述抽空Ⅰ的工藝溫度是850～900℃，氮氣流量為0L/min，工藝壓力為0～40mbar；工藝時間為2～5min。

6.根據權利要求3所述的晶硅太陽能電池磷擴散爐管的清理方法，其特征在于，所述恒溫恒壓氧氣、氮氣吹掃的工藝溫度850～900℃，氮氣流量為5～10L/min，氧氣流量為0.5～2L/min，工藝壓力為50～200mbar；工藝時間為30～50min。

7.根據權利要求3所述的晶硅太陽能電池磷擴散爐管的清理方法，其特征在于，所述抽空Ⅱ的工藝溫度是850～900℃，氮氣流量為0L/min，氧氣流量為0L/min，工藝壓力為0～40mbar；工藝時間為1～5min。

8.根據權利要求1所述的晶硅太陽能電池磷擴散爐管的清理方法，其特征在于，在步驟S3中，所述降溫時間為30～60min，工藝壓力為200～500mbar。

9.根據權利要求1所述的晶硅太陽能電池磷擴散爐管的清理方法，其特征在于，在步驟S3中，所述回常壓的時間為3～10min，氮氣流量為5～20L/min。