[發明專利]拉晶爐的冷卻裝置及拉晶爐

在審

• 申請號: 202211339977.7
• 申請日: 2022-10-25
• 公開（公告）號: CN115613120A
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發明（設計）人: 鐘偉
• 申請（專利權）人: 三一硅能（株洲）有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 朱威武

1.一種拉晶爐的冷卻裝置，其特征在于，包括用于供冷卻介質流通的螺旋管道，所述螺旋管道的截面形狀具有至少一個直線邊，至少一個所述直線邊所在的所述螺旋管道的表面為第一吸熱面(1)，其余所述螺旋管道的表面為第二吸熱面(2)，所述第一吸熱面(1)平行于所述螺旋管道的中軸線。

2.根據權利要求1所述的拉晶爐的冷卻裝置，其特征在于，所述螺旋管道的截面形狀為三角形，所述三角形的其中一個直線邊所在的所述螺旋管道的表面為所述第一吸熱面(1)，其余所述三角形的直線邊所在的所述螺旋管道的表面為所述第二吸熱面(2)。

3.根據權利要求1所述的拉晶爐的冷卻裝置，其特征在于，所述螺旋管道的截面形狀為半圓形，所述半圓形的直線邊所在的所述螺旋管道的表面為所述第一吸熱面(1)，所述半圓形的弧形邊所在的所述螺旋管道的表面為所述第二吸熱面(2)。

4.根據權利要求1所述的拉晶爐的冷卻裝置，其特征在于，所述螺旋管道的截面形狀為矩形，所述矩形的其中一個直線邊所在的所述螺旋管道的表面為所述第一吸熱面(1)，其余所述矩形的直線邊所在的所述螺旋管道的表面為所述第二吸熱面(2)。

5.根據權利要求1-4任一項所述的拉晶爐的冷卻裝置，其特征在于，所述第一吸熱面(1)和/或所述第二吸熱面(2)上設有多個凸起或凹坑，多個所述凸起或凹坑位于所述螺旋管道內部。

6.根據權利要求1所述的拉晶爐的冷卻裝置，其特征在于，所述第一吸熱面(1)和/或所述第二吸熱面(2)上設有吸熱層(6)。

7.根據權利要求1所述的拉晶爐的冷卻裝置，其特征在于，所述螺旋管道包括由寬至窄漸變設置的多個螺旋節段。

8.一種拉晶爐，其特征在于，包括：

爐壁(5)；

腔室(3)，位于所述爐壁(5)內部；

權利要求1-7任一項所述的拉晶爐的冷卻裝置；

其中，所述爐壁(5)內部設有所述螺旋管道，位于所述爐壁(5)內部的所述第一吸熱面(1)螺旋環繞于所述腔室(3)周圍；和/或，

所述腔室(3)內部設有所述螺旋管道，位于所述腔室(3)內部的所述第一吸熱面(1)螺旋環繞于所述腔室(3)中生長的晶體(4)周圍。

9.根據權利要求8所述的拉晶爐，其特征在于，還包括設置于所述腔室(3)內部的坩堝(7)和加熱裝置(8)，所述坩堝(7)內設有能夠生長為晶體(4)的溶液，所述加熱裝置(8)用于對所述坩堝(7)加熱。

10.根據權利要求9所述的拉晶爐，其特征在于，還包括設置于所述腔室(3)內部的反射屏(9)，所述反射屏(9)用于將所述加熱裝置(8)的熱輻射反射至所述腔室(3)的熱場。