[發明專利]汽化裝置及其控制方法、存儲介質、流體控制裝置

在審

• 申請號: 202211332639.0
• 申請日: 2022-10-28
• 公開（公告）號: CN116069070A
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 矢田秀貴;淺海裕一郎
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李成必;李雪春

1.一種汽化裝置，其特征在于，

所述汽化裝置具備：

控制閥，設置在液體材料流動的流道上；

汽化部，通過減壓或加熱使所述液體材料汽化；

液體流量傳感器，測量流過流道的液體材料的流量；以及

閥控制器，通過基于設定流量表示的設定值以及由所述液體流量傳感器測量的流量的測量值的PI控制或PID控制，控制所述控制閥，

所述汽化裝置還具備積分增益切換部，所述積分增益切換部在由所述液體流量傳感器測量的流量的過渡響應期間，將對所述閥控制器設定的積分增益從基準積分增益切換為與所述基準積分增益不同的修正積分增益。

2.根據權利要求1所述的汽化裝置，其特征在于，

所述修正積分增益設定為比所述基準積分增益高的值。

3.根據權利要求1或2所述的汽化裝置，其特征在于，

所述基準積分增益是以使當所述汽化部不存在的情況下的流量響應的調節時間成為預先確定的容許時間內的方式設定的值。

4.根據權利要求3所述的汽化裝置，其特征在于，

所述修正積分增益是以使當所述汽化部存在且在所述過渡響應期間從所述基準積分增益向所述修正積分增益切換的情況下的流量響應的調節時間成為所述容許時間內的方式確定的值。

5.根據權利要求1至4中任意一項所述的汽化裝置，其特征在于，

在所述測量值收斂于所述設定值后，積分增益切換部將對所述閥控制器設定的積分增益從所述修正積分增益恢復為所述基準積分增益。

6.根據權利要求1至5中任意一項所述的汽化裝置，其特征在于，

所述積分增益切換部將所述設定流量的上升開始時點作為基準在經過了規定時間后將對所述閥控制器設定的積分增益從所述基準積分增益切換為所述修正積分增益。

7.根據權利要求1至6中任意一項所述的汽化裝置，其特征在于，

從所述基準積分增益切換為所述修正積分增益的切換時機設定在從在固定于所述基準積分增益并持續控制所述控制閥的情況下的流量響應的上升開始時點到峰值時點為止的期間內。

8.根據權利要求1至7中任意一項所述的汽化裝置，其特征在于，

所述積分增益切換部根據所述設定流量表示的設定值的大小或所述液體材料的種類，設定從所述基準積分增益切換為所述修正積分增益的切換時機。

9.根據權利要求1至8中任意一項所述的汽化裝置，其特征在于，

所述汽化裝置還具備修正積分增益變更部，所述修正積分增益變更部變更所述修正積分增益。

10.根據權利要求9所述的汽化裝置，其特征在于，

所述修正積分增益變更部根據所述液體材料的種類、所述液體材料的設定流量、所述液體材料的設定壓力、載氣的設定流量、所述控制閥的上游側的壓力、所述控制閥的下游側的壓力、所述控制閥的設定溫度、所述汽化部的設定溫度、以及周圍溫度中的至少任意一個，變更所述修正積分增益。

11.根據權利要求1至10中任意一項所述的汽化裝置，其特征在于，

所述控制閥具備：

液體導入口，向內部導入所述液體材料；

氣體導入口，向內部導入載氣；以及

導出口，向外部導出將所述液體材料與所述載氣混合得到的氣液混合體。

12.根據權利要求1至11中任意一項所述的汽化裝置，其特征在于，

所述控制閥與所述汽化部相鄰設置。