[發(fā)明專利]磁體系統(tǒng)、濺射設(shè)備和殼體蓋

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211330810.4
• 申請日: 2022-10-27
• 公開（公告）號: CN116121718A
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: T·桑德;K·施耐德;F·梅斯納;G·格羅斯;S·莫沙默
• 申請（專利權(quán)）人: 馮·阿登納資產(chǎn)股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54;H05H1/30;H05H1/34;H05H1/46
• 代理公司: 北京市鑄成律師事務(wù)所 11313
• 代理人: 王珺;李文穎

涉及一種磁體系統(tǒng)、濺射設(shè)備和殼體蓋。根據(jù)各種實(shí)施方式，磁體系統(tǒng)(100)可以包括：殼體(406g)，殼體具有殼體內(nèi)部空間(406h)；磁體載體(102)，磁體載體設(shè)置在殼體內(nèi)部空間(406h)中并且借助于殼體(406g)優(yōu)選地相對于殼體位置固定地支承；殼體蓋(206d)，殼體蓋以與殼體(406g)拼接在一起的方式形成流體密封的腔室；其中殼體蓋(406d)具有變速器級(804)、發(fā)電機(jī)(308)和將變速器級(804)與發(fā)電機(jī)(308)聯(lián)接的轉(zhuǎn)動饋通件(850)。

技術(shù)領(lǐng)域

各種實(shí)施例涉及磁體系統(tǒng)、濺射設(shè)備和殼體蓋。

背景技術(shù)

一般而言，工件或基板可以被工藝處理，例如機(jī)加工、覆層、加熱、蝕刻和/或結(jié)構(gòu)改變。用于對基板覆層的方法例如是陰極原子化(所謂的濺射)，陰極原子化是物理氣相沉積(PVD)類型的。例如，一個或多個層可以借助于濺射(即通過濺射工藝)沉積在基板上。為此，可以借助于陰極將形成等離子體的氣體離子化，其中可以借助于在此形成的等離子體將待沉積的材料(靶材料)原子化。然后可以將原子化的靶材料引導(dǎo)至基板，靶材料可以在基板處沉積并且形成層。

對陰極原子化的修改是借助于磁控管進(jìn)行濺射，即所謂的磁控濺射，或所謂的反應(yīng)磁控濺射。在此，可以借助于磁場來支持等離子體的形成。磁場可以由磁體系統(tǒng)產(chǎn)生并且穿透陰極(也稱為磁控管陰極)，使得在靶材料表面(靶表面)處可以構(gòu)成環(huán)形等離子體通道，即所謂的軌道，在該等離子體通道中可以形成等離子體。

等離子體的空間分布和與之相關(guān)的原子化速率非常敏感地取決于磁場的空間分布。因此，磁體系統(tǒng)對于各種工藝特性，諸如工藝穩(wěn)定性、再現(xiàn)性、靶利用率和均勻性方面具有特別重要的意義。在此背景下，存在對改進(jìn)，比如簡化磁體系統(tǒng)和/或減少干擾性影響的基本需求。

發(fā)明內(nèi)容

各種實(shí)施方式的一個方面可以直觀地在于：提供可調(diào)節(jié)的磁場。借助對磁場的調(diào)節(jié)，可以影響靶材料的霧化，例如使得可以進(jìn)行盡可能均勻的分子化濺射和/或覆層。

與之相關(guān)，已經(jīng)直觀的認(rèn)識到：用于通信(例如信號傳輸或驅(qū)動控制)的以及功率供應(yīng)(例如功率產(chǎn)生或功率傳輸)的、為此使用的部件放大了磁體系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜性，這使其維護(hù)變難并且降低了其可靠性。

根據(jù)各種實(shí)施方式，提供呈殼體蓋形式的連貫組件，該組件具有變速器級、發(fā)電機(jī)和轉(zhuǎn)動饋通件以及可選地具有通信接口。這實(shí)現(xiàn)：用于能量產(chǎn)生和可選地用于傳遞信號的部件作為結(jié)構(gòu)單元來提供，該結(jié)構(gòu)單元可以整體地被更換。

變速器級和發(fā)電機(jī)用于在內(nèi)部產(chǎn)生能量，而通信接口用于將信號傳遞給調(diào)節(jié)裝置(其例如具有馬達(dá)控制裝置)。除了在運(yùn)行期間的可靠功能實(shí)現(xiàn)之外，殼體蓋在維護(hù)情況下可以作為完整的組件取下或更換，而不必影響或改變磁體系統(tǒng)的其余部件。

附圖說明

附圖示出

圖1、圖2以及圖3A、圖5和圖6分別以各種視圖示出根據(jù)各種實(shí)施方式的磁體系統(tǒng)；

圖4和圖7分別示出根據(jù)各種實(shí)施方式的濺射設(shè)備，并且圖3B示出濺射設(shè)備的磁體系統(tǒng)；

圖8和圖9分別以各種視圖示出根據(jù)各種實(shí)施方式的殼體蓋；

圖10以類似的示意立體圖示出根據(jù)各種實(shí)施方式的殼體蓋的信號傳遞鏈；

圖11以示意立體圖示出根據(jù)各種實(shí)施方式的殼體蓋的動力學(xué)鏈的發(fā)電機(jī)側(cè)的部分；和

圖12以示意立體圖示出根據(jù)各種實(shí)施方式的變速器級的驅(qū)動側(cè)的變速器輪。

具體實(shí)施方式