[發明專利]一種基于二氧化鈦三層結構的磁阻傳感器在審
| 申請號： | 202211326921.8 | 申請日： | 2022-10-26 |
| 公開（公告）號： | CN115542208A | 公開（公告）日： | 2022-12-30 |
| 發明（設計）人： | 李鵬;田兵;劉仲;呂前程;林躍歡;李立浧;王志明;張偉勛;鐘枚汕;駱柏鋒;劉勝榮;尹旭;徐振恒;盧星宇;何毅 | 申請（專利權）人： | 南方電網數字電網研究院有限公司 |
| 主分類號： | G01R33/09 | 分類號： | G01R33/09 |
| 代理公司： | 貴陽中新專利商標事務所 52100 | 代理人： | 胡緒東 |
| 地址： | 510555 廣東省廣州市黃*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 氧化 三層 結構 磁阻 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于二氧化鈦三層結構的磁阻傳感器，其特征在于：包括第一鐵磁層（1）、第二鐵磁層（2）和二氧化鈦共振層（3），第一鐵磁層（1）和第二鐵磁層（2）之間布置二氧化鈦共振層（3），第一鐵磁層（1）和第二鐵磁層（2）分別作為上電極和下電極。
2.根據權利要求1所述的一種基于二氧化鈦三層結構的磁阻傳感器，其特征在于：第一鐵磁層（1）和第二鐵磁層（2）均采用鐵磁性金屬，鐵磁性金屬采用鎳Ni、鐵Fe、鈷Go和鋁AI中一種或多種組合。
3.根據權利要求1所述的一種基于二氧化鈦三層結構的磁阻傳感器，其特征在于：第一鐵磁層（1）和第二鐵磁層（2）的材料采用AlNiCo、FeCrCo、FeCrMo、FeAlC、PtCo或MnAlC。
4.根據權利要求1所述的一種基于二氧化鈦三層結構的磁阻傳感器，其特征在于：二氧化鈦共振層（3）包括至少一層二氧化鈦層。
5.根據權利要求1-4任一所述的一種基于二氧化鈦三層結構的磁阻傳感器，其特征在于：二氧化鈦三層共振磁阻傳感器的磁阻計算公式，如下所示：
其中，
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