[發明專利]一種雙面半導體膜片工件的測試裝置

在審

• 申請號: 202211324081.1
• 申請日: 2022-10-27
• 公開（公告）號: CN115494305A
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 李世林;梁錦星;朱嘉華
• 申請（專利權）人: 意力（廣州）電子科技有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01R31/52;G01R1/04
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 任德欣

1.一種雙面半導體膜片工件的測試裝置，其特征在于，包括：

機架(1)；

測試板(2)，所述測試板(2)能對雙面半導體膜片工件(10)進行檢測，所述測試板(2)包括主體部(21)和與所述主體部(21)柔性連接的活動部(22)，所述主體部(21)的上側設置有第一測試金手指(23)，所述活動部(22)的下側設置有第二測試金手指(24)；

固定載臺(3)，所述固定載臺(3)設置在所述機架(1)上且能固定所述主體部(21)，所述固定載臺(3)上位于所述活動部(22)下方處設置過氣組件(31)；

活動載臺(4)，所述活動載臺(4)設置在所述機架(1)上且用于承托所述雙面半導體膜片工件(10)；

所述過氣組件(31)能向所述活動部(22)吹氣并使所述活動部(22)翹起，以使所述雙面半導體膜片工件(10)的下側金手指(102)搭接在所述第一測試金手指(23)上，且上側金手指(101)位于所述第二測試金手指(24)下方，所述過氣組件(31)還能吸附所述活動部(22)以使所述第二測試金手指(24)搭接在所述上側金手指(101)上；

升降驅動組件(5)和壓頭組件(6)，所述升降驅動組件(5)設置在所述機架(1)上且能驅動所述壓頭組件(6)向下運動，以使所述壓頭組件(6)將所述測試板(2)和所述雙面半導體膜片工件(10)之間的搭接位置壓合。

2.如權利要求1所述的雙面半導體膜片工件的測試裝置，其特征在于，所述雙面半導體膜片工件(10)還包括啟動鍵(71)，所述啟動鍵(71)與所述升降驅動組件(5)電連接，并能使所述升降驅動組件(5)驅動所述壓頭組件(6)向下運動；和/或

所述升降驅動組件(5)與所述測試板(2)電連接，所述升降驅動組件(5)能夠根據所述測試板(2)的檢測結果驅動所述壓頭組件(6)抬起或保持所述壓頭組件(6)不動。

3.如權利要求2所述的雙面半導體膜片工件的測試裝置，其特征在于，所述雙面半導體膜片工件的測試裝置還包括復位鍵(72)，所述復位鍵(72)與所述升降驅動組件(5)電連接，所述復位鍵(72)能使所述升降驅動組件(5)驅動所述壓頭組件(6)抬起。

4.如權利要求1所述的雙面半導體膜片工件的測試裝置，其特征在于，所述雙面半導體膜片工件的測試裝置還包括：

指示組件(73)，所述指示組件(73)與所述測試板(2)電連接，所述指示組件(73)能夠根據所述測試板(2)的檢測結果進行顯示。

5.如權利要求1所述的雙面半導體膜片工件的測試裝置，其特征在于，所述壓頭組件(6)包括：

連接板(61)，所述連接板(61)與所述升降驅動組件(5)的輸出端連接；

第一壓頭(62)，所述第一壓頭(62)連接于所述連接板(61)的下方，所述連接板(61)與所述第一壓頭(62)之間設置有第一彈性件，所述第一壓頭(62)用于壓合所述下側金手指(102)和所述第一測試金手指(23)；

第二壓頭(63)，所述第二壓頭(63)連接于所述連接板(61)的下方，所述連接板(61)與所述第二壓頭(63)之間設置有第二彈性件，所述第二壓頭(63)用于壓合所述上側金手指(101)和所述第二測試金手指(24)。

6.如權利要求1-5任一項所述的雙面半導體膜片工件的測試裝置，其特征在于，還包括：

攝像頭(81)，所述攝像頭(81)與機架(1)連接，且能拍攝所述測試板(2)與所述雙面半導體膜片工件(10)的搭接區域；

顯示屏(82)，所述顯示屏(82)與所述攝像頭(81)電連接，所述顯示屏(82)能顯示所述攝像頭(81)的拍攝結果。

7.如權利要求1-5任一項所述的雙面半導體膜片工件的測試裝置，其特征在于，所述活動載臺(4)上設置有第一吸附口(41)，所述第一吸附口(41)能夠吸附并固定所述雙面半導體膜片工件。

8.如權利要求1-5任一項所述的雙面半導體膜片工件的測試裝置，其特征在于，所述活動載臺(4)與所述機架(1)的位置可調。