[發明專利]激光鉆孔裝置

在審

• 申請號: 202211323482.5
• 申請日: 2022-10-27
• 公開（公告）號: CN115464280A
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 薛建雄;陳金祥;袁偉濤;張玉濤;甘明輝;林小波;楊小君
• 申請（專利權）人: 廣東中科微精光子制造科技有限公司
• 主分類號: B23K26/382
• 分類號: B23K26/382;B23K26/0622;B23K26/067;B23K26/064
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 劉光明

1.一種激光鉆孔裝置，其特征在于，包括激光器、脈沖串生成模塊以及加工組件；

所述激光器用于產生單脈沖激光光束；

所述脈沖串生成模塊設于所述激光器的出射端以使所述單脈沖激光光束形成包括至少兩個聚焦位置相同且具有時間差的子脈沖的激光脈沖串；

所述加工組件設于所述脈沖串生成模塊的出射端，所述激光脈沖串射入所述加工組件以對工件進行鉆孔加工。

2.如權利要求1所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，

所述脈沖串生成模塊包括分束單元和合束單元，所述分束單元用于將所述單脈沖激光束進行分束處理得到至少兩個子脈沖；

所述合束單元用于對分束形成的所述子脈沖進行合束以形成聚焦位置相同且具有時間差的所述激光脈沖串。

3.如權利要求2所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，

所述分束單元包括至少兩個依次設置的分光鏡，每一所述分光鏡將射入的光束分束為第一光束和第二光束，前一所述分光鏡分出的第二光束射入后一所述分光鏡進行分束，每一所述分光鏡分束的第一光束形成所述子脈沖；

所述合束單元包括依次設置的至少一個合束鏡和一個反射鏡，所述合束鏡和所述反射鏡與所述分光鏡一一對應設置，其中所述反射鏡對應最后一個所述分光鏡設置，用于將最后一個所述分光鏡分出的第一光束反射至與該反射鏡相鄰的所述合束鏡，所述合束鏡用于將對應的所述分光鏡分出的第一光束和位于其后側的所述合束鏡或者所述反射鏡出射的光束進行合束處理后射出。

4.如權利要求3所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述分束單元還包括第一偏振波片，每相鄰的兩所述分光鏡之間分別設有所述第一偏振波片，以調節每一所述第二光束的功率。

5.如權利要求3所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，通過調節每一所述分光鏡和/或每一所述合束鏡的位置使每一所述子脈沖的聚焦位置相同。

6.如權利要求2所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述子脈沖之間的時間差根據每一所述子脈沖的傳輸路徑的光程設置。

7.如權利要求1所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述加工組件包括掃描器件以及設于其出射端的聚焦鏡，所述掃描器件接收所述激光脈沖串并控制其對工件進行掃描加工，所述聚焦鏡用于對所述掃描器件出射的激光脈沖串進行聚焦。

8.如權利要求7所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述加工組件還包括設于所述聚焦鏡的出射端的載物臺，所述載物臺用于承載所述工件。

9.如權利要求1所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，還包括設于所述激光器的出射端和所述脈沖串生成模塊之間的擴束鏡，所述擴束鏡用于放大所述激光器出射的所述單脈沖激光光束的光斑。

10.如權利要求9所述的激光鉆孔裝置，其特征在于，所述擴束鏡的出射端和所述脈沖串生成模塊之間還設有第二偏振波片，以調節所述單脈沖激光光束的功率。