[發(fā)明專利]一種底部抗反射涂層組合物及其用途

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211319214.6
• 申請日: 2022-10-26
• 公開（公告）號: CN115725216B
• 公開（公告）日: 2023-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚宇晨;李冰;李海波;李杰;陳昕;董棟;張寧
• 申請（專利權(quán)）人: 北京科華微電子材料有限公司;上海彤程電子材料有限公司;彤程新材料集團股份有限公司
• 主分類號: G03F7/09
• 分類號: G03F7/09;C09D133/14
• 代理公司: 北京柏杉松知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413
• 代理人: 高敏;王宇

1.一種底部抗反射涂層組合物，包括丙烯酸樹脂共聚物A、丙烯酸樹脂共聚物B、有機溶劑和表面活性劑，所述丙烯酸樹脂共聚物A包括環(huán)氧基團A-1，所述丙烯酸樹脂共聚物B包括苯胺基團B-1，所述有機溶劑的沸點為70℃～220℃：

其中，R₇選自-(CH₂)_m-，m為0～4的整數(shù)，*表示連接位點；

基于所述底部抗反射涂層組合物的總質(zhì)量，所述丙烯酸樹脂共聚物A的質(zhì)量百分含量為1％～5％，所述丙烯酸樹脂共聚物B的質(zhì)量百分含量為1％～5％，所述有機溶劑的質(zhì)量百分含量為90％～98％，所述表面活性劑的質(zhì)量百分含量為0％～0.5％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的底部抗反射涂層組合物，其中，所述丙烯酸樹脂共聚物A的結(jié)構(gòu)式如下：

其中，R₁選自苯甲基、萘甲基或蒽甲基；

R₂為-(CH₂)_n-，n為0～4的整數(shù)；

R₃選自甲基、乙基或丙基；

R₄、R₅和R₆各自獨立地選自氫原子或甲基；

以x、y和z的總和為基準(zhǔn)，x為10％～50％，y為30％～70％，z為5％～20％；

所述丙烯酸樹脂共聚物A的重均分子質(zhì)量M_wA為10000～100000。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的底部抗反射涂層組合物，其中，以x、y和z的總和為基準(zhǔn)，x為20％～40％，y為40％～70％，z為5％～20％。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的底部抗反射涂層組合物，其中，所述丙烯酸樹脂共聚物A的重均分子質(zhì)量M_wA為10000～30000。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的底部抗反射涂層組合物，其中，所述丙烯酸樹脂共聚物B的結(jié)構(gòu)式如下：

其中，R₈選自苯甲基、萘甲基或蒽甲基；

R₁₀選自甲基、乙基或丙基；

R₁₁、R₁₂和R₁₃各自獨立地選自氫原子或甲基；

R₉選自-(CH₂)_m-；

以u、v和w的總和為基準(zhǔn)，u為10％～50％，v為30％～70％，w為5％～20％；

所述丙烯酸樹脂共聚物B的重均分子質(zhì)量M_wB為10000～100000。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的底部抗反射涂層組合物，其中，以u、v和w的總和為基準(zhǔn)，u為20％～40％，v為40％～70％，w為5％～20％。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的底部抗反射涂層組合物，其中，所述丙烯酸樹脂共聚物B的重均分子質(zhì)量M_wB為10000～30000。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的底部抗反射涂層組合物，其中，所述有機溶劑選自丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇單甲醚、環(huán)己酮、乳酸乙酯、γ-丁內(nèi)酯、N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、二甲基亞砜、芐基乙基醚、正己醚、己二酮、異佛爾酮、正己酸、正辛酸、正辛醇、1-壬醇、苯甲醇、乙酸芐酯、苯甲酸乙酯、乙二酸二乙酯、馬來酸二乙酯、碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯、2-苯氧基乙酸乙酯中的至少一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的底部抗反射涂層組合物，其中，所述表面活性劑選自PF6320、BYK-388、BYK-307、BYK-310、BYK-320、BYK-323、Pluronic-25R2、Pluronic-L92、SilwetL7604、Silwet L7608、FC-135、FC-170C、FC-430、FC-431中的至少一種。