[發明專利]一種將管帽同軸度水平um級別偏移轉換為高度mm的測量方法在審
| 申請號: | 202211317289.0 | 申請日: | 2022-10-26 |
| 公開(公告)號: | CN115683031A | 公開(公告)日: | 2023-02-03 |
| 發明(設計)人: | 黃宏偉;李志剛 | 申請(專利權)人: | 濰坊華光光電子有限公司 |
| 主分類號: | G01B21/24 | 分類號: | G01B21/24;G01B21/02 |
| 代理公司: | 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219 | 代理人: | 王楠 |
| 地址: | 261061 山東省濰坊市奎文區*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 將管帽 同軸 水平 um 級別 偏移 轉換 高度 mm 測量方法 | ||
本發明涉及一種將管帽同軸度水平um級別偏移轉換為高度mm的測量方法,屬于半導體激光器檢驗領域,包括測距儀、模條、移動支架,將封帽完成的激光器放入模條上,固定完成后將模條放置在移動支架上,由移動支架帶動模條等距移動;測距儀垂直在激光器管帽的上方,以激光器管座的圓心為中心點,測距儀在管座圓心水平面的投影位置在>管帽半徑的50um處的同心圓上;分別測試同心圓上A、B、C、D四點處測距儀到管座的距離,根據測距儀測試距離判斷同軸度,移動支架自動前進,依次測距,根據測距儀的數值變化剔除管帽封偏的激光器,本發明有助于同時保證測量的精度以及速率,既簡便可行同時保證較高的準確率。
技術領域
本發明涉及一種將管帽同軸度水平um級別偏移轉換為高度mm的測量方法,屬于半導體激光器技術領域。
背景技術
半導體激光器及其陣列因其體積小、重量輕、效率高、成本低等優點已經在工業、醫療、通信、軍事等諸多領域獲得了廣泛的應用。隨著半導體激光器及其陣列應用的日益廣泛,如何準確、方便地檢測器件的性能,對其可靠性進行評價變得越來越重要。
隨著人工智能開始走向應用,其在手機終端、智能家居、工業機器人以及未來無人駕駛等領域逐步普及,未來智能終端對真實環境的準確感知變得尤為重要。激光器作為機器三維視覺的重要元器件,激光器的封裝精度成為傳感應用的參數。特別是客戶在封裝自動化的前提下,激光器芯片的出光點相對于管帽的位置往往作為重點的指示參數,這就要求我們激光器封帽的同軸度必須準確。
目前同軸度測試基本以模具測試,測試精度較低,速率較慢,例如中國專利文件一種TO56激光器管帽同心度檢測夾具(公告號CN210051284U),測量精度最高為0.1mm,同時每一種封裝都需設計一套夾具,速率較慢,整體成本較高。
發明內容
針對現有技術的不足,本發明提供一種將管帽同軸度水平um級別偏移轉換為高度mm的測量方法,可以將提升速率更加準確的挑選管帽偏移的異常品。
本發明的技術方案如下:
一種將管帽同軸度水平um級別偏移轉換為高度mm的測量方法,包括測距儀、模條、移動支架,包括步驟如下:
(1)將封帽完成的激光器放入模條上,固定完成后將模條放置在移動支架上,由移動支架帶動模條等距移動;
(2)測距儀垂直在激光器管帽的上方,管帽的直徑是固定的,按照封裝精度要求,管帽的中心點應與管座的中心點相重合;因此以激光器管座的圓心為中心點,測距儀在管座圓心水平面的投影位置在>管帽半徑的50um處的同心圓上;分別測試同心圓上A、B、C、D四點處測距儀到管座的距離,四點在管帽圓周外等距分布;
(3)當管帽與管座的中心點重合時,A、B、C、D四點處測距儀測試的距離為測距儀到管座的距離,將此值設為正常值;若管帽與管座的中心點不重合,假設管帽往A點偏移>50um時,測距儀測試距離為:測距儀正常值-管帽高度;
(4)移動支架自動前進,依次測距,根據測距儀的數值變化剔除管帽封偏的激光器。
根據本發明優選的,步驟(2)中,測距儀的數量為兩個,兩個測距儀到管座中心的連線相互垂直。同時測定水平方向和垂直方向,效率更高。
根據本發明優選的,所述模條與目前封裝配套,半導體激光器型號為TO56、TO33、TO38、TO46或TO9。
本發明未詳盡之處,均可采用現有技術。
本發明的有益效果在于:
本發明將測量同軸度的水平偏移量um級別的測量轉換為mm管帽高度級別的測量,有助于測量的精度以及速率,既簡便可行同時保證較高的準確率。
附圖說明
圖1為本發明的模條。
圖2為激光器測試示意圖。
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