[發(fā)明專利]仿真測(cè)試擬合工藝參數(shù)方法、系統(tǒng)、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211314144.5
• 申請(qǐng)日: 2022-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN115495995B
• 公開（公告）日: 2023-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊睿智;袁軍平;胡錦釗;常林森;李帥;張磊;郭嘉帥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳飛驤科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G06F30/27
• 分類號(hào): G06F30/27;G06F30/25;G06F18/214;G06F18/2431;G06N3/126;G06N5/01;G06N20/20;G01R31/00;G06F111/04
• 代理公司: 深圳君信誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44636
• 代理人: 劉偉

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種仿真測(cè)試擬合工藝參數(shù)方法、仿真測(cè)試擬合系統(tǒng)、仿真測(cè)試擬合設(shè)備和計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，所述仿真測(cè)試擬合工藝參數(shù)方法包括：將測(cè)試原始數(shù)據(jù)進(jìn)行清理并得到樣本；將樣本擬合出單個(gè)導(dǎo)納樣本；將抽樣出的樣本擬合得到多個(gè)抽樣導(dǎo)納樣本；將所有樣本進(jìn)行分布式計(jì)算并擬合得出全部導(dǎo)納樣本；將具有相同幾何參數(shù)的諧振器相對(duì)應(yīng)的多組參數(shù)結(jié)果合并為一組進(jìn)行處理；訓(xùn)練機(jī)器學(xué)習(xí)模型并得到預(yù)測(cè)調(diào)整參數(shù)模型；將抽樣后的樣本通過預(yù)測(cè)調(diào)整參數(shù)模型進(jìn)行驗(yàn)證。與相關(guān)技術(shù)相比，采用本發(fā)明的技術(shù)方案可解決在不同工藝和測(cè)試波動(dòng)的情況下實(shí)現(xiàn)統(tǒng)計(jì)意義上的自動(dòng)化仿真測(cè)試且普適性好，計(jì)算速度快且準(zhǔn)確性高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及聲仿真測(cè)試擬合設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及應(yīng)用于聲表濾波器的一種仿真測(cè)試擬合工藝參數(shù)方法、仿真測(cè)試擬合系統(tǒng)、仿真測(cè)試擬合設(shè)備以及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)。

背景技術(shù)

近年來隨著聲表濾波器的應(yīng)用越來越多，各種聲表濾波器的應(yīng)用于不同的場(chǎng)景需求。針對(duì)不同的需求，聲表濾波器設(shè)計(jì)越來越重要。聲表濾波器的設(shè)計(jì)是否可靠，很大程度上依賴于聲表濾波器的物理仿真模型的準(zhǔn)確性。

目前，現(xiàn)有技術(shù)中，聲表濾波器的物理仿真分為等效電路模型(MBVD)、耦合模模型(COM)以及有限元方法(FEM)。其中等效電路模型(MBVD)對(duì)實(shí)際物理的簡(jiǎn)化較大導(dǎo)致準(zhǔn)確性較低；而有限元方法(FEM)因?yàn)槠溆?jì)算緩慢而無(wú)法用于SAW器件的快速迭代設(shè)計(jì)；在兼顧計(jì)算精度與速度方面，耦合模模型(COM)相比其他兩種方法更平衡，因此也更廣泛的應(yīng)用在設(shè)計(jì)迭代中。具體的，耦合模模型(COM)是一種唯象模型。耦合模模型(COM)是利用線性模型加上一些調(diào)整參數(shù)，來近似表示真實(shí)的非線性物理。因此，這些調(diào)整參數(shù)是決定計(jì)算結(jié)果與實(shí)測(cè)結(jié)果之間是否近似的關(guān)鍵。調(diào)整參數(shù)的影響因素很多，與頻率、器件的幾何參數(shù)、壓電基底的材料參數(shù)、不同代工廠的工藝都有不同程度的相關(guān)性。

然而，相關(guān)技術(shù)的聲表濾波器的耦合模模型(COM)在仿真和測(cè)試上將調(diào)整參數(shù)的應(yīng)用在設(shè)計(jì)迭代中存在以下問題：第一，現(xiàn)有模型無(wú)法做到普適的問題，學(xué)術(shù)界的耦合模模型是公開的，但是其中的調(diào)整參數(shù)卻不是普適的。學(xué)術(shù)界的論文往往只需要在一兩個(gè)例子上證明有效即可，但針對(duì)實(shí)際工業(yè)界的設(shè)計(jì)仿真需求，卻需要在普適的基礎(chǔ)上保證準(zhǔn)確，難度不可同日而語(yǔ)。不夸張的說，仿真測(cè)試的準(zhǔn)確程度直接決定了設(shè)計(jì)的周期和成本。第二，在實(shí)際的聲表濾波器的批量生產(chǎn)中，綜合了工藝波動(dòng)和測(cè)試波動(dòng)的情況下，普適的仿真測(cè)試存在比較大的難度。因?yàn)椋暠頌V波器的器件生產(chǎn)制造會(huì)面臨不可避免的工藝波動(dòng)，完全相同的設(shè)計(jì)在制造中會(huì)得到不同的實(shí)際結(jié)果；并且測(cè)試聲表濾波器的諧振器導(dǎo)納需要在晶圓級(jí)測(cè)試得到，客觀存在的測(cè)試波動(dòng)也無(wú)法避免。第三，相關(guān)技術(shù)的聲表濾波器的仿真測(cè)試有很多方案都依賴于人工嘗試尋找調(diào)整參數(shù)，手動(dòng)尋找參數(shù)的效率很低，人工反復(fù)調(diào)整所述調(diào)整參數(shù)的過程，一般取決于需要仿真測(cè)試的樣本數(shù)量，人工一般花費(fèi)的時(shí)間以星期至月為單位。無(wú)法自動(dòng)擴(kuò)展到大批量數(shù)據(jù)上，無(wú)法實(shí)現(xiàn)自動(dòng)處理大批量仿真測(cè)試數(shù)據(jù)，并無(wú)法可以短時(shí)間內(nèi)快速獲得匹配不同代工廠工藝的自動(dòng)化方法。第四，人工手動(dòng)的方式只能尋找到適用于一定范圍內(nèi)的調(diào)整參數(shù)，因此必定是離散的，會(huì)導(dǎo)致準(zhǔn)確度低的情況，如果采用人工進(jìn)行調(diào)整的方法，既不能保證普適性(其中，人工觀察的規(guī)律有限，并且規(guī)律一般是離散的分段函數(shù))，也不能保證大范圍準(zhǔn)確(其中，人工只能觀察有限數(shù)量的數(shù)據(jù))。如何通過有限的仿真測(cè)試數(shù)據(jù)得到連續(xù)模型，在更多沒有仿真測(cè)試數(shù)據(jù)的時(shí)候保證計(jì)算的可靠性是一個(gè)需要解決的技術(shù)問題。

因此，實(shí)有必要提供一種新的方法、系統(tǒng)和設(shè)備來解決上述技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服上述技術(shù)問題，提供一種可解決在不同工藝和測(cè)試波動(dòng)的情況下實(shí)現(xiàn)統(tǒng)計(jì)意義上的自動(dòng)化仿真測(cè)試且普適性好，計(jì)算速度快且準(zhǔn)確性高的仿真測(cè)試擬合工藝參數(shù)方法、仿真測(cè)試擬合系統(tǒng)、仿真測(cè)試擬合設(shè)備以及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種仿真測(cè)試擬合工藝參數(shù)方法，其應(yīng)用于聲表濾波器，所述聲表濾波器包括多個(gè)諧振器；該方法包括如下步驟：