[發(fā)明專利]一種低壓氣源供給系統(tǒng)及供給方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211309638.4
• 申請日: 2022-10-25
• 公開（公告）號: CN115727263A
• 公開（公告）日: 2023-03-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 畢光坤;吳傳東;林峰;鄭東志
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波市江北浙機(jī)設(shè)備有限公司
• 主分類號: F17D3/01
• 分類號: F17D3/01;G01L11/00;F17D1/04;F17D5/00
• 代理公司: 寧波奧圣專利代理有限公司 33226
• 代理人: 胡珣燕

1.一種低壓氣源供給系統(tǒng)，其特征在于包括控制器、進(jìn)氣調(diào)壓閥、第一電磁閥和儲氣罐，所述的進(jìn)氣調(diào)壓閥的進(jìn)氣端用于接常規(guī)氣源，所述的進(jìn)氣調(diào)壓閥的出氣端與所述的第一電磁閥的進(jìn)氣端相連，所述的第一電磁閥的出氣端與所述的儲氣罐的進(jìn)氣口相連，所述的儲氣罐具有至少一個出氣口，每個所述的儲氣罐的出氣口連接有一第二電磁閥，所述的第二電磁閥的進(jìn)氣端與所述的儲氣罐的出氣口相連，所述的第二電磁閥的出氣端用于與工位上的進(jìn)氣端相連，所述的儲氣罐上設(shè)置有排氣口，所述的排氣口上連接有第三電磁閥，所述的第三電磁閥的進(jìn)氣端與所述的排氣口相連，所述的第三電磁閥的出氣端用于排氣，所述的儲氣罐上設(shè)置有用于對所述的儲氣罐內(nèi)的氣壓進(jìn)行監(jiān)測的壓力傳感器；

所述的進(jìn)氣調(diào)壓閥、所述的第一電磁閥、所述的第二電磁閥、所述的第三電磁閥的打開或關(guān)閉均由所述的控制器控制，所述的壓力傳感器與所述的控制器電信號連接。

2.如權(quán)利要求1所述的一種低壓氣源供給系統(tǒng)，其特征在于所述的進(jìn)氣調(diào)壓閥與所述的第一電磁閥之間設(shè)置有一節(jié)流閥，所述的進(jìn)氣調(diào)壓閥的出氣端與所述的節(jié)流閥的進(jìn)氣端相連，所述的節(jié)流閥的出氣端與所述的第一電磁閥的進(jìn)氣端相連。

3.一種如權(quán)利要求3所述的低壓氣源供給系統(tǒng)的供給方法，其特征在于包括如下步驟：

（1）保持第一電磁閥、第二電磁閥和第三電磁閥處于關(guān)閉狀態(tài)；

（2）將常規(guī)氣源自進(jìn)氣調(diào)壓閥的進(jìn)氣端進(jìn)入到進(jìn)氣調(diào)壓閥內(nèi)，通過進(jìn)氣調(diào)壓閥將氣體壓力降至5—10KPa，得到低壓氣源；

（3）在控制器上針對儲氣罐設(shè)定一個壓力參考值，通過壓力傳感器實(shí)時監(jiān)測儲氣罐內(nèi)的壓力，并將監(jiān)測到的壓力值傳送給控制器：

①當(dāng)監(jiān)測到的壓力值小于壓力參考值時，控制器控制第一電磁閥打開，經(jīng)進(jìn)氣調(diào)壓閥調(diào)整后壓力值在5—10KPa的低壓氣體經(jīng)第一電磁閥進(jìn)入到儲氣罐內(nèi)得以儲存，當(dāng)監(jiān)測到的壓力值到達(dá)壓力參考值時，控制器控制第一電磁閥關(guān)閉，跳轉(zhuǎn)到步驟（4）；

②當(dāng)監(jiān)測到的壓力值大于壓力參考值時，保持第一繼電器為關(guān)閉狀態(tài)，控制器控制第三電磁閥打開，進(jìn)行排氣操作，當(dāng)監(jiān)測到的壓力值到達(dá)壓力參考值時，控制器控制第三電磁閥關(guān)閉，跳轉(zhuǎn)到步驟（4）；

（4）控制器控制第二電磁閥打開，向?qū)?yīng)工位輸出低壓氣源。

4.如權(quán)利要求3所述的一種低壓氣源供給系統(tǒng)的供給方法，其特征在于在低壓氣體在向儲氣罐輸入的過程中，將節(jié)流閥調(diào)小，減慢氣體的進(jìn)氣速度。