[發明專利]一種保溫變色鍍膜玻璃及制備方法

在審

• 申請號: 202211294446.0
• 申請日: 2022-10-21
• 公開（公告）號: CN115536287A
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 鞏建樂;江峰;吳園;劉鵬
• 申請（專利權）人: 長虹美菱股份有限公司
• 主分類號: C03C17/36
• 分類號: C03C17/36
• 代理公司: 合肥洪雷知識產權代理事務所(普通合伙) 34164
• 代理人: 劉偉

1.一種保溫變色鍍膜玻璃，其特征在于，包括玻璃基片(1)；

所述玻璃基片(1)的一表面依次鍍覆有氮化硅層(2)、摻鋁氧化鋅層(3)、金屬銀層(4)、氧化鋅層(5)、三氧化鎢層(6)以及二氧化鈦層(7)。

2.根據權利要求1所述的一種保溫變色鍍膜玻璃，其特征在于，所述氮化硅層(2)的厚度為30～60nm。

3.根據權利要求1或2所述的一種保溫變色鍍膜玻璃，其特征在于，所述摻鋁氧化鋅層(3)的厚度為6～30nm。

4.根據權利要求3所述的一種保溫變色鍍膜玻璃，其特征在于，所述金屬銀層(4)的厚度為6～20nm。

5.根據權利要求4所述的一種保溫變色鍍膜玻璃，其特征在于，所述氧化鋅層(5)的厚度為40～70nm。

6.根據權利要求4或5所述的一種保溫變色鍍膜玻璃，其特征在于，所述三氧化鎢層(6)的厚度為30～40nm。

7.根據權利要求6所述的一種保溫變色鍍膜玻璃，其特征在于，所述二氧化鈦層(7)的厚度為20～50nm。

8.一種如權利要求1-7任意一項所述的一種保溫變色鍍膜玻璃的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一、將玻璃基片(1)使用去離子水連續清洗兩次，再使用氮氣將玻璃基片(1)的表面吹干，然后將玻璃基片(1)傳輸至磁控濺射儀的鍍膜腔室①內；在鍍膜室①內設置純度為99.99％的硅靶，且工作氣體采用純度為99.99％的氬氣和氮氣，氮氬之比為9：1，氬氣的流量為5～10sccm；在氮氬氛圍中將硅靶濺射于玻璃基片(1)的一表面上，促使玻璃基片(1)上形成膜層厚度為40nm的氮化硅層(2)；

步驟二、將步驟一中的玻璃基片(1)送至鍍膜室②內；在鍍膜室②內設置鎳鉻混合的澆鑄圓柱型陶瓷鋅靶，且工作氣體采用純度為99.99％的氬氣和氮氣，氬氧之比為4：3，氬氣的流量為8～10sccm；在氮氬氛圍中將陶瓷鋅靶濺射于氮化硅層(2)的一表面上，促使氮化硅層(2)上形成膜層厚度為10nm的摻鋁氧化鋅層(3)；

步驟三、將步驟二中的玻璃基片(1)送至鍍膜室③內；在鍍膜室③內設置澆鑄圓柱型銀靶，且工作氣體采用純度為99.99％的氬氣，氬氣的流量為4～10sccm；在氬氣氛圍中將銀靶濺射于摻鋁氧化鋅層(3)的一表面上，促使摻鋁氧化鋅層(3)上形成膜層厚度為15nm的金屬銀層(4)；

步驟四、將步驟三中的玻璃基片(1)送至鍍膜室④內；在鍍膜室④內設置純度為99.99％的氧化鋅靶，且工作氣體采用純度為99.99％的氬氣，氬氣的流量為4～6sccm；在氬氣氛圍中將氧化鋅靶濺射于金屬銀層(4)的一表面上，促使金屬銀層(4)上形成膜層厚度為50nm的氧化鋅層(5)；

步驟五、將步驟四中的玻璃基片(1)送至鍍膜室⑤內；在鍍膜室⑤內設置純度為99.99％的澆鑄圓柱型氧化鎢靶，且工作氣體采用純度為99.99％的氬氣，氬氣的流量為10～15sccm；在氬氣氛圍中將氧化鎢靶濺射于氧化鋅層(5)的一表面上，促使氧化鋅層(5)上形成膜層厚度為35nm的三氧化鎢層(6)；

步驟六、將步驟五中的玻璃基片(1)送至鍍膜室⑥內；在鍍膜室⑥內設置純度為99.99％的二氧化鈦靶，且工作氣體采用純度為99.99％的氬氣，氬氣的流量為5～10sccm；在氬氣氛圍中將二氧化鈦靶濺射于三氧化鎢層(6)的一表面上，促使三氧化鎢層(6)上形成膜層厚度為40nm的二氧化鈦層(7)。

9.根據權利要求8所述的一種保溫變色鍍膜玻璃的制備方法，其特征在于，所述步驟一中，去離子水的清洗時間為15-25min。