[發明專利]一種藍寶石襯底不剝離的Micro-LED微型顯示器件及其制備方法

在審

• 申請號: 202211293751.8
• 申請日: 2022-10-21
• 公開（公告）號: CN115528149A
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 羅莎;許建;瞿帥;白偉偉;吳昊
• 申請（專利權）人: 紹興君萬微電子科技有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/44;H01L33/50;H01L33/62;H01L27/15
• 代理公司: 紹興市寅越專利代理事務所(普通合伙) 33285
• 代理人: 陳彩霞

1.一種藍寶石襯底不剝離的Micro-LED微型顯示器件制備方法，其特征在于，包括：

首先在藍寶石晶圓上制備密度LED微像素陣列，P型氮化鎵外延層靠近藍寶石襯底，多層量子阱層在P型氮化鎵外延層上生長，N型氮化鎵外延層生長在多量子阱上，N極的導電電極外延生長在藍寶石襯底上方兩側邊緣；

在生長完畢LED的藍寶石晶圓上涂布色轉換層，在色轉換層固化后在其上方制備彩色濾光層實現RGB色彩顯示；

將藍寶石襯底打磨，待減薄完畢，光刻光阻后刻蝕藍寶石至P型氮化鎵層和N極的導電電極；

沉積P電極金屬及N電極金屬,并圖形化形成P電極及N電極的引線；

將藍寶石晶圓進行分切，切割出N個小面板；

LED與驅動背板進行倒裝鍵合并灌封后完成LED顯示器件芯片的制備。

2.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底不剝離的Micro-LED微型顯示器件制備方法，其特征在于,所述在生長完畢LED的藍寶石晶圓上涂布色轉換層，其涂布方式為：spin/slit的方式。

3.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底不剝離的Micro-LED微型顯示器件制備方法，其特征在于：所述在色轉換層固化方法還可替換為：在固化后沉積鈍化層保護色轉換層。

4.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底不剝離的Micro-LED微型顯示器件制備方法，其特征在于：所述色轉換層還可以為圖形化的RGB色轉換層。

5.根據權利要求4所述的一種藍寶石襯底不剝離的Micro-LED微型顯示器件制備方法，其特征在于：所述圖形化形成P電極及N電極的引線，還可以采用lift-off工藝。

6.一種藍寶石襯底不剝離的Micro-LED微型顯示器件，其特征在于：基于如權利要求1-5任一所述的一種藍寶石襯底不剝離的Micro-LED微型顯示器件制備方法制成。