[發明專利]磁控濺射靶材快換結構和方法

在審

• 申請號: 202211280686.5
• 申請日: 2022-10-19
• 公開（公告）號: CN115466932A
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 劉志;孫家寶;孫一軍;陳長鴻;謝石建;孫穎;王妹芳;劉艷華
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林超

1.一種磁控濺射靶材快換結構，包括靶槍(1)和靶材(2)，靶槍(1)的背板外殼內的端口底部設置靶材(2)，其特征在于：還包括卡環(3)、波形簧片(4)、屏蔽罩(5)和異形簧片(6)，屏蔽罩(5)套在靶槍(1)的背板外殼的端口內，屏蔽罩(5)靠近靶槍(1)的端部和靶材(2)之間設有卡環(3)和波形簧片(4)，屏蔽罩(5)端部經波形簧片(4)和卡環(3)的一端面，卡環(3)另一端面壓接到靶材(2)上；在屏蔽罩(5)和靶槍(1)的背板外殼的端口之外周圍設有異形簧片(6)，異形簧片(6)一端固定于靶槍(1)上，異形簧片(6)另一端向屏蔽罩(5)延伸并越過屏蔽罩(5)后設置有凸耳，凸耳徑向朝向屏蔽罩(5)中心延伸，屏蔽罩(5)遠離靶槍(1)的端部頂接到凸耳上。

2.根據權利要求1所述的一種磁控濺射靶材快換結構，其特征在于：

包括多個異形簧片(6)，多個異形簧片(6)沿周向間隔設置。

3.根據權利要求1所述的一種磁控濺射靶材快換結構，其特征在于：

所述的波形簧片(4)采用沿周向呈起伏波浪形的環形彈性片。

4.根據權利要求1所述的一種磁控濺射靶材快換結構，其特征在于：

所述的屏蔽罩(5)為筒體，筒體的端面和波形簧片(4)的一側端面連接，波形簧片(4)另一側端面經卡環(3)壓接到靶材(2)上。

5.根據權利要求1所述的一種磁控濺射靶材快換結構，其特征在于：

所述的靶槍(1)電連接地，異形簧片(6)在靶槍(1)與屏蔽罩(5)之間形成一個穩定的導電通道。

6.應用于權利要求(1-5)任一所述磁控濺射靶材快換結構的一種靶材更換方法，其特征在于：更換靶材(2)時，徑向向外拉開異形簧片(6)上的凸耳，再取下屏蔽罩(5)、卡環(3)、波形簧片(4)和靶材(2)，進而更換新的靶材(2)。