[發明專利]一種穩定氣流場的抽氣裝置及LPCVD管式反應器

在審

• 申請號: 202211279704.8
• 申請日: 2022-10-19
• 公開（公告）號: CN115652281A
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發明（設計）人: 李種玉;張生利;王永謙;陳剛
• 申請（專利權）人: 浙江愛旭太陽能科技有限公司;天津愛旭太陽能科技有限公司;珠海富山愛旭太陽能科技有限公司;廣東愛旭科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京市天元律師事務所 16010
• 代理人: 夏智海

1.一種穩定氣流場的抽氣裝置，應用在LPCVD管式反應器上，LPCVD管式反應器內設有工藝區，其特征在于，所述抽氣裝置包括主抽氣部和至少一個次抽氣部；

所述主抽氣部位于工藝區的一端，所述至少一個次抽氣部位于工藝區的另一端。

2.根據權利要求1所述的穩定氣流場的抽氣裝置，其特征在于，所述次抽氣部包括插入所述LPCVD管式反應器內的次抽氣管；所述抽氣管連接有負壓源。

3.根據權利要求2所述的穩定氣流場的抽氣裝置，其特征在于，所述負壓源為泵體或所述主抽氣部的負壓管路。

4.根據權利要求3所述的穩定氣流場的抽氣裝置，其特征在于，所述次抽氣管與泵體或所述負壓管路之間設有可調開度的控制閥。

5.根據權利要求3所述的穩定氣流場的抽氣裝置，其特征在于，所述泵體抽速可調。

6.根據權利要求2所述的穩定氣流場的抽氣裝置，其特征在于，所述次抽氣管由所述LPCVD管式反應器的尾部插入LPCVD管式反應器內。

7.根據權利要求1所述的穩定氣流場的抽氣裝置，其特征在于，所述LPCVD管式反應器設有用于將爐蓋和爐身連接密封的的連接結構；

所述連接結構設有內部孔道，所述內部孔道設有與所述LPCVD管式反應器內連通的氣口；

所述次抽氣部包括位于LPCVD管式反應器外的次抽氣管，所述次抽氣管的一端與所述內部孔道連通，另一端連接有負壓源。

8.根據權利要求1所述的穩定氣流場的抽氣裝置，其特征在于，所述主抽氣部包括主抽氣管，所述主抽氣管穿過所述LPCVD管式反應器的尾部延伸至首端。

9.根據權利要求8所述的穩定氣流場的抽氣裝置，其特征在于，所述次抽氣部為設置在所述主抽氣管上的至少一個開孔。

10.根據權利要求9所述的穩定氣流場的抽氣裝置，其特征在于，所述主抽氣管與所述LPCVD管式反應器的首端端蓋的距離為5cm-60cm。

11.根據權利要求1-10中任一項所述的穩定氣流場的抽氣裝置，其特征在于，所述次抽氣部的抽氣量為LPCVD管式反應器的總抽氣量的5％-40％。

12.一種LPCVD管式反應器，其特征在于，包括如權利要求1-11中任一項所述的穩定氣流場的抽氣裝置。