[發(fā)明專利]一種固晶機固晶頭壓力預警裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211279063.6
• 申請日: 2022-10-19
• 公開（公告）號: CN115483148A
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳平;謝慧;韋海成
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市卓興半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;G01L5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明屬于固晶頭壓力預警技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種固晶機固晶頭壓力預警裝置，該一種固晶機固晶頭壓力預警裝置，包括晶元拾取裝置和緩沖模塊，晶元拾取裝置包括升降模組和旋轉(zhuǎn)模組，升降模組用于帶動旋轉(zhuǎn)模組上下移動。本發(fā)明，在吸嘴的壓力超過臨界值時，通過緩沖模塊，使得中軸可微量的移入晶元拾取裝置的內(nèi)部，以減少吸嘴所受到的壓力，對吸嘴和晶圓進行防護，提升了使用壽命及安全性；在吸嘴的壓力出現(xiàn)異常時，緩沖模塊工作進行緩沖的同時，使得記錄模塊動作改變形狀，進行機械式的記錄壓力異常，使得工作人員可直觀地觀察到吸嘴的壓力出現(xiàn)了異常，同時，可根據(jù)記錄模塊的形狀，觀察出，同時間段中不同吸嘴出現(xiàn)壓力異常的頻率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于固晶頭壓力預警技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種固晶機固晶頭壓力預警裝置。

背景技術(shù)

在固晶技術(shù)領(lǐng)域，通過吸嘴完成取晶和固晶動作，在取晶的時候，吸嘴位于晶圓盤的上方，頂針位于晶圓盤的下方，晶圓盤上安裝有藍膜，藍膜上有晶圓，頂針從下方將位于藍膜上的晶圓頂起，然后吸嘴將晶圓吸起，完成取晶動作。為了防止吸嘴的壓力異常，一般都是需要設(shè)置壓力預警裝置，用于檢測吸嘴的壓力。

但是，在取晶時，吸嘴沒有緩沖裝置，致使在吸嘴的壓力超過最大限定值時，很容易造成吸嘴損壞晶圓，或造成吸嘴損壞，同時，在吸嘴壓力出現(xiàn)異常或誤動作時，大多是將異常數(shù)據(jù)反饋到固晶機的控制終端，固晶機控制終端會下達指令并記錄異常數(shù)據(jù)，控制吸嘴復位進行再次取晶作業(yè)，固晶機并不會因此而停機，而軟件記錄數(shù)據(jù)在終端出現(xiàn)異常時會造成數(shù)據(jù)丟失，若工作人員不查看報警記錄，是不會知道出現(xiàn)壓力異常，而現(xiàn)有的壓力預警裝置并沒有機械式的記錄方式，使得工作人員不能直觀地觀察到吸嘴的壓力出現(xiàn)了異常。

如中國專利，公告號為CN215680645U，公開了一種可測量壓力的固晶頭及壓力預警裝置，包括電機、吸嘴、力傳遞件、壓力傳感器，所述電機包括電機本體、以及與所述電機本體相連的電機主軸，所述吸嘴與所述電機主軸相連，所述電機主軸移動時會帶動所述力傳遞件隨之移動，所述力傳遞件在移動時會擠壓所述壓力傳感器，并沒有在壓力出現(xiàn)異常時，進行緩沖，同時也沒有機械式的記錄方式。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種固晶機固晶頭壓力預警裝置，能夠在吸嘴出現(xiàn)異常時，對吸嘴與晶圓之間進行緩沖，以降低過大壓力帶來的損害，同時，在壓力出現(xiàn)異常時，能進行機械式的記錄，使得工作人員能直觀地觀察到吸嘴出現(xiàn)了壓力異常，同時機械式和軟件記錄，提升了數(shù)據(jù)記錄的準確性。

本發(fā)明采取的技術(shù)方案具體如下：

一種固晶機固晶頭壓力預警裝置，包括；

晶元拾取裝置，所述晶元拾取裝置包括升降模組和旋轉(zhuǎn)模組，所述升降模組用于帶動旋轉(zhuǎn)模組上下移動，所述旋轉(zhuǎn)模組包括驅(qū)動電機和中軸，所述驅(qū)動電機安裝在晶元拾取裝置上，所述中軸安裝在驅(qū)動電機的輸出端，所述中軸的下端安裝有吸嘴，所述驅(qū)動電機的下端且位于中軸的外側(cè)安裝有壓力傳感器；

緩沖模塊，所述緩沖模塊安裝在壓力傳感器與吸嘴之間，所述緩沖模塊用于減緩壓力傳感器所受到的壓力；

記錄模塊，所述記錄模塊安裝在晶元拾取裝置的外側(cè)，所述記錄模塊的一端與緩沖模塊連接，所述記錄模塊用于記錄吸嘴壓力的異常。

在一種優(yōu)選方案中，所述緩沖模塊包括固定管a、電磁鐵a、電磁鐵b、固定管b和連接環(huán)，所述固定管a固定在壓力傳感器的下端，所述電磁鐵a固定在固定管a下端的外側(cè)，所述連接環(huán)固定在吸嘴的上端，所述固定管b轉(zhuǎn)動連接在連接環(huán)的上端，所述電磁鐵b固定在固定管b上端的內(nèi)部，所述電磁鐵b位于電磁鐵a的上方。

在一種優(yōu)選方案中，所述電磁鐵a和電磁鐵b均為圓環(huán)形。

在一種優(yōu)選方案中，所述電磁鐵a的外徑小于固定管b的內(nèi)徑，所述電磁鐵b的內(nèi)徑大于固定管a的外徑。