[發(fā)明專利]一種圖像傳感器及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202211273691.3
• 申請日: 2022-10-18
• 公開（公告）號: CN115579372A
• 公開（公告）日: 2023-01-06
• 發(fā)明（設計）人: 夏小峰;范春暉;李巖
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥海圖微電子有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 上海漢之律師事務所 31378
• 代理人: 陳強

1.一種圖像傳感器，其特征在于，至少包括：

邏輯基板，所述邏輯基板中設置有邏輯電路集成單元；

金屬互連結(jié)構(gòu)，設置在所述邏輯基板上，且所述金屬互連層結(jié)構(gòu)包括多個金屬層；

外延層，覆蓋在所述金屬互連結(jié)構(gòu)上；

多個像素結(jié)構(gòu)，設置在所述外延層中；

多個隔離結(jié)構(gòu)，設置在相鄰的所述像素結(jié)構(gòu)之間；

導電栓塞，連接于所述隔離結(jié)構(gòu)，所述導電栓塞的一端貫穿所述外延層與所述金屬層連接；以及

過孔連接件，穿過所述金屬互連結(jié)構(gòu)和所述外延層，與所述邏輯電路集成單元連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圖像傳感器，其特征在于，所述外延層上設置有介質(zhì)層，且所述導電栓塞連接于所述介質(zhì)層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種圖像傳感器，其特征在于，所述介質(zhì)層上設置有掩膜層，所述掩膜層與所述過孔連接件連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種圖像傳感器，其特征在于，所述像素結(jié)構(gòu)包括感光區(qū)，所述感光區(qū)設置在所述外延層中，且所述感光區(qū)位設置于相鄰的所述隔離結(jié)構(gòu)之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種圖像傳感器，其特征在于，所述像素結(jié)構(gòu)包括格柵層，所述格柵層設置在所述介質(zhì)層上，所述格柵層與所述掩膜層相鄰，且所述格柵層連接于所述掩膜層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種圖像傳感器，其特征在于，所述像素結(jié)構(gòu)包括透光通道，所述透光通道設置在所述格柵層上，且所述透光通道與所述感光區(qū)對應。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圖像傳感器，其特征在于，所述圖像傳感器包括電性連接件，所述電性連接件的一端連接于所述金屬層，另一端通過引線伸出所述圖像傳感器的外部。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種圖像傳感器，其特征在于，所述外延層和所述介質(zhì)層之間、所述隔離結(jié)構(gòu)和所述外延層之間設置有堆疊層。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種圖像傳感器，其特征在于，所述堆疊層包括：

介質(zhì)薄膜，設置在所述外延層的表面上；

高介電薄膜，覆蓋在所述介質(zhì)薄膜上；以及

抗反射薄膜，覆蓋在所述高介電薄膜上。

10.一種圖像傳感器的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供一邏輯基板，所述邏輯基板上設置有邏輯電路集成單元；

于所述邏輯基板上設置金屬互連結(jié)構(gòu)，所述金屬互連結(jié)構(gòu)包括多個金屬層；

于所述金屬互連結(jié)構(gòu)上設置外延層，且所述外延層覆蓋所述金屬互連結(jié)構(gòu)；

于所述外延層中設置多個像素結(jié)構(gòu)；

于所述外延層上設置多個隔離結(jié)構(gòu)，其中所述隔離結(jié)構(gòu)設置在相鄰的所述像素結(jié)構(gòu)之間；

于所述外延層上設置導電栓塞，所述導電栓塞的一端貫穿所述外延層與所述金屬層連接；以及

設置過孔連接件，其中所述過孔連接件穿過所述金屬互連結(jié)構(gòu)和所述外延層，與所述邏輯電路集成單元連接。