[發明專利]一種半導體元件的加工方法

有效

• 申請號: 202211270472.X
• 申請日: 2022-10-18
• 公開（公告）號: CN115472565B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 周海生;陳慶良;魏振效
• 申請（專利權）人: 安徽省富捷電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/78
• 分類號: H01L21/78;H01L21/50;H01L21/687;H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 合肥市科深知識產權代理事務所(普通合伙) 34235
• 代理人: 邢兆瀚

1.一種半導體元件的加工方法，其特征在于，包括以下步驟制備：

步驟一、涂覆：在半導體圓片的功能面和非功能面涂覆防護層，并通過烘箱進行烘干，使防護層硬化，得到半成品半導體圓片,功能面處防護層厚度為非功能面處防護層厚度的二分之一；

步驟二、切片：將步驟一中得到的半成品半導體圓片放置在加工平臺上，且半導體圓片的功能面朝上，然后利用劃切機構沿功能面各組芯片電路結構之間的間隙進行切割，劃切機構從功能面處防護層開始切割，直至切割到非功能面處防護層厚度的三分之二處停止；

步驟三、減薄：在步驟二完成后，將半導體圓片放置在所述加工平臺進行翻轉，且半導體圓片的非功能面朝上，然后利用打磨機構對非功能面進行減薄處理，得到若干組芯片，打磨機構對非功能面處防護層進行磨削，且磨削厚度為非功能面處防護層厚度的二分之一；

所述加工平臺包括底座(1)、變位箱(2)以及設置在變位箱(2)右側的夾持定位機構；

所述夾持定位機構包括U型架(31)和兩組夾持板箱(32)，兩組所述夾持板箱(32)均與U型架(31)的內側滑動連接；

所述夾持板箱(32)的內側設有調節構件一和調節構件二，所述調節構件一包括調節環一(41)和夾持桿一(42)，所述調節構件二包括調節環二(51)和夾持桿二(52)；

所述調節環一(41)和調節環二(51)位于夾持板箱(32)外部的一側均設有驅動組件；

步驟四、封裝：將切割出的若干組芯片移至引線框架上進行封裝，得到半成品半導體芯片；

步驟五、測試：對步驟三中得到的半成品半導體芯片進行成品測試，得到該半導體元件。

2.根據權利要求1所述的一種半導體元件的加工方法，其特征在于：所述U型架(31)的左端固定連接有轉軸(311)，且U型架(31)通過轉軸(311)與變位箱(2)的右側轉動連接，所述轉軸(311)位于變位箱(2)內側的一端固定連接有齒輪一(312)，所述變位箱(2)的內側固定連接有電推桿一(21)，且電推桿一(21)的輸出端固定連接有齒桿一(22)，所述齒桿一(22)與變位箱(2)的內側滑動連接，且齒桿一(22)與齒輪一(312)嚙合傳動。

3.根據權利要求1所述的一種半導體元件的加工方法，其特征在于：所述夾持板箱(32)的一表面開設有多組滑槽口(33)，且滑槽口(33)處滑動連接有夾持座(34)，所述夾持板箱(32)一表面的中部開設有壓板口(35)，且壓板口(35)處設有壓板(36)。

4.根據權利要求1所述的一種半導體元件的加工方法，其特征在于：

所述調節環一(41)與調節環二(51)均與夾持板箱(32)的另一表面轉動連接，且調節環二(51)設置在調節環一(41)的內側，所述調節環一(41)的內側開設有多組弧形槽口一(411)，所述調節環二(51)的側面開設有弧形槽口二(511)。

5.根據權利要求1所述的一種半導體元件的加工方法，其特征在于：所述夾持桿一(42)的外側滑動連接有限位滑筒一(43)，且夾持桿一(42)與限位滑筒一(43)之間設有彈簧一(44)，所述限位滑筒一(43)與U型架(31)的內側固定連接，所述夾持桿一(42)的一端固定連接有珠座一(421)，且珠座一(421)的槽口處滑動連接有轉珠一(422)，所述轉珠一(422)與弧形槽口一(411)相接觸；

所述夾持桿一(42)的另一端與夾持座(34)位于U型架(31)內側的一端固定連接。

6.根據權利要求5所述的一種半導體元件的加工方法，其特征在于：所述夾持桿二(52)的外側滑動連接有限位滑筒二(53)，且夾持桿二(52)與限位滑筒二(53)之間設有彈簧二(54)，所述限位滑筒二(53)與U型架(31)的內側固定連接；

所述夾持桿二(52)的一端與壓板(36)固定連接，所述壓板(36)位于U型架(31)內側的表面固定連接有珠座二(361)，且珠座二(361)的槽口處滑動連接有轉珠二(362)，所述轉珠二(362)與弧形槽口二(511)相接觸；

所述夾持桿一(42)的另一端與夾持座(34)位于U型架(31)內側的一端固定連接。

7.根據權利要求1所述的一種半導體元件的加工方法，其特征在于：所述驅動組件包括齒輪二(61)和電推桿二(62)，所述電推桿二(62)與夾持板箱(32)的另一表面固定連接，且電推桿二(62)的輸出端固定連接有齒桿二(63)，所述齒桿二(63)與夾持板箱(32)滑動連接，且齒桿二(63)與齒輪二(61)嚙合傳動。