[發明專利]一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備

在審

• 申請號: 202211270272.4
• 申請日: 2022-10-18
• 公開（公告）號: CN115467015A
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: 李金;武歡;陳川貴;佘建軍;李俊;陳運茂
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二十六研究所
• 主分類號: C30B19/06
• 分類號: C30B19/06;C30B19/08;C30B29/28
• 代理公司: 重慶輝騰律師事務所 50215
• 代理人: 王海軍

1.一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備，其特征在于，包括：爐體升降結構、物料放置臺、爐體、提拉頭以及籽晶桿；爐體設置在爐體升降結構上，從而控制爐體的高度和位置；提拉頭與紫晶桿連接，其中提拉頭用于控制紫晶桿的升降；提拉頭固定在爐體升降結構的頂部，使得固定在提拉頭上的紫晶桿位于爐體的上方；物料放置臺與爐體升降結構固定連接，使得放置在物料放置臺上的物料能進入爐體內部。

2.根據權利要求1所述的一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備，其特征在于，爐體升降結構包括底部支架、滑塊、絲桿、導軌、爐體夾緊板、爐體升降電機、豎直支架以及提拉頭旋轉機構；其中豎直支架設置在底部支架上；導軌和絲桿豎直設置在豎直支架上，滑塊穿過絲桿設置導軌上，爐體升降電機與絲桿連接；爐體夾緊板設置在滑塊上，用于的與爐體連接；當爐體升降電機轉動時控制絲桿轉動，滑塊隨著絲桿的轉動在導軌上做上下移動，從而控制爐體夾緊板上下移動；提拉頭旋轉機構設置在豎直支架的頂部平面，且提拉頭旋轉機與提拉頭連接，用于控制提拉頭旋轉。

3.根據權利要求2所述的一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備，其特征在于，支架由多個鋼條相互固定連接構成，用于支撐整個器件。

4.根據權利要求1所述的一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備，其特征在于，物料放置臺包括坩堝平移機構、坩堝旋轉機構以及坩堝固定結構；坩堝平移機構包括平行導軌、第一電機以及第一滑塊，第一滑塊設置在平行導軌上，且通過第一電機控制滑塊在平行導軌上滑動；坩堝旋轉機構設置在坩堝平移機構的第一滑塊上，其中坩堝旋轉機構的轉軸與坩堝固定結構固定。

5.根據權利要求1所述的一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備，其特征在于，爐體包括爐殼、保溫加熱系統以及閘門系統；爐殼為中空結構，爐殼的中心位置設置有爐膛，坩堝放置在爐膛中；所述保溫加熱系統設置爐體內部，且與爐膛壁緊密貼合，通過保溫加熱系統對爐膛進行加熱保溫；所述閘門系統分別與爐殼和保溫加熱系統連接。

6.根據權利要求5所述的一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備，其特征在于，爐體還包括爐門，爐門上設置有開合結構和門栓；開合結構的一端設置在爐殼上，另一端設置在爐門上，使得爐門能夠對爐殼進行閉合；門栓設置在爐門上，通過門栓使爐門固定在爐殼上。

7.根據權利要求5所述的一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備，其特征在于，保溫加熱系統包括加熱電源和溫場模塊，加熱電源用于給溫場模塊供電。

8.根據權利要求6所述的一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備，其特征在于，所述溫場模塊由至少兩個溫場構成，溫場與溫場拼接部分采用Z字型連接。

9.根據權利要求5所述的一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備，其特征在于，閘門系統包括三對閘門機構，其中第一對閘門機構設置在爐殼中，用于對爐膛中的坩堝加料；第二對閘門機構設置在保溫加熱系統中，用于調節保溫加熱系統中的溫度；第三對閘門機構設置在爐體升降機構中，用于調節爐體升降機構的壓強。

10.根據權利要求1所述的一種液相外延YIG晶體生長自動控制設備，其特征在于，提拉頭包括第二支架、第二導軌、第二絲桿、移動滑塊、籽晶桿升降電機、籽晶桿旋轉電機以及籽晶桿夾緊結構；第二支架豎直設置在爐體升降結構的提拉頭旋轉機構上，使得提拉頭隨著旋轉機構旋轉；第二導軌和第二絲桿豎直設置在第二支架上，其中籽晶桿升降電機與第二絲桿連接，用于控制第二絲桿轉動；移動滑塊穿過第二絲桿，設置在第二導軌上；籽晶桿旋轉電機設置在移動滑塊上，其與籽晶桿夾緊結構連接；所述籽晶桿夾緊結構用于固定籽晶桿。