[發明專利]用于單晶爐的防晶棒掉落裝置和單晶爐

在審

• 申請號: 202211268657.7
• 申請日: 2022-10-17
• 公開（公告）號: CN115679435A
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 楊文武;張雯
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉材料科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 西安維英格知識產權代理事務所(普通合伙) 61253
• 代理人: 宋東陽;姚勇政

1.一種用于單晶爐的防晶棒掉落裝置，其特征在于，包括設置在所述單晶爐的副爐室處的感測裝置、抱接裝置和止擋件，其中，

所述感測裝置用于感測晶棒是否發生掉落；

所述抱接裝置包括單獨的抱接件，所述抱接裝置用于根據所述感測裝置感測到所述晶棒發生掉落而使所述抱接件抱接并固定至所述晶棒的外表面；以及

所述止擋件設置在所述抱接裝置的下方，并且所述止擋件構造成能夠止擋隨掉落的所述晶棒下落的所述抱接件，以由此止擋所述晶棒。

2.根據權利要求1所述的用于單晶爐的防晶棒掉落裝置，其特征在于，所述抱接裝置包括電磁彈射裝置，所述電磁彈射裝置用于在所述感測裝置感測到所述晶棒發生掉落時將所述抱接件電磁彈射至所述晶棒。

3.根據權利要求1或2所述的用于單晶爐的防晶棒掉落裝置，其特征在于，所述感測裝置通過感測所述晶棒的移動方向和/或移動速率來判斷所述晶棒是否發生掉落。

4.根據權利要求3所述的用于單晶爐的防晶棒掉落裝置，其特征在于，所述感測裝置在感測到所述晶棒向下移動且移動速率大于2mm/min時判定所述晶棒發生掉落。

5.根據權利要求1或2所述的用于單晶爐的防晶棒掉落裝置，其特征在于，所述抱接件包括多個弧形部段，所述多個弧形部段能夠在所述抱接件抱接所述晶棒時繞所述晶棒的周向布置。

6.根據權利要求5所述的用于單晶爐的防晶棒掉落裝置，其特征在于，所述多個弧形部段均為磁體并且設置成使得所述多個弧形部段中的每相鄰布置的兩個弧形部段的磁性相反，以使得所述多個弧形部段在抱接所述晶棒時能夠通過磁吸力固定至所述晶棒的外表面。

7.根據權利要求1或2所述的用于單晶爐的防晶棒掉落裝置，其特征在于，所述抱接裝置布置在所述副爐室的下端處。

8.根據權利要求1或2所述的用于單晶爐的防晶棒掉落裝置，其特征在于，所述止擋件為固定至所述副爐室的內壁上的環形止擋件。

9.根據權利要求1或2所述的用于單晶爐的防晶棒掉落裝置，其特征在于，所述止擋件為設置在所述單晶爐的所述副爐室與主爐室之間的凸臺。

10.一種單晶爐，其特征在于，包括根據權利要求1至9中的任一項所述的用于單晶爐的防晶棒掉落裝置。