[發明專利]一種延長晶振片壽命的蒸鍍機

在審

• 申請號: 202211267080.8
• 申請日: 2022-10-17
• 公開（公告）號: CN115491641A
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 李文浩;李剛;林武;尚大可
• 申請（專利權）人: 福建兆元光電有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 福州市博深專利事務所(普通合伙) 35214
• 代理人: 董晗

本發明涉及半導體領域，具體涉及一種延長晶振片壽命的蒸鍍機，所述延長晶振片壽命的蒸鍍機的多個所述遮擋部繞遮擋板自轉軸線均勻設置，所述鏤空部設置在相鄰的遮擋部之間；所述鏤空部上設有鏤空通道；所述鏤空通道和遮擋部旋轉所掃過平面均阻隔在鍍源和晶振片之間。本發明的有益效果在于：所述延長晶振片壽命的蒸鍍機中，蒸鍍材料從鍍源蒸鍍到晶振片上的路徑時而被遮擋部阻擋，時而由鏤空通道連通。因此所述遮擋板的設置使晶振片被鍍膜較少。不僅使晶振片的偵測膜厚精度更高，還使晶振片長期處于載荷較低的狀態下，延長了晶振片的使用壽命。

技術領域

本發明涉及半導體領域，具體涉及一種延長晶振片壽命的蒸鍍機。

背景技術

在LED半導體芯片領域，經常應用真空蒸鍍機在晶圓片上鍍膜；蒸鍍機中安裝有晶振片用于計算鍍膜厚度。

晶振片主要結構為石英晶體，而石英晶體具有壓電效應，如果在晶體的表面上鍍一層薄膜，則晶體的固有震蕩頻率就會改變；換言之晶振片上承載的質量越大，其震蕩頻率越低。

但晶振片的承載質量與震蕩頻率并非線性關系；隨著震蕩頻率的下降，晶振片偵測膜厚不僅會變得不精確，而且晶振片長期載荷較大容易失效。特別是在如黃金、鉑金等密度較大的材料蒸鍍時，會大大減少晶振片的壽命，從而提高生產成本。本領域迫切需要一種能延長晶振片使用壽命的結構。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：提供一種延長晶振片壽命的蒸鍍機，不僅延長晶振片的使用壽命還使膜厚的偵測結構精確。

為了解決上述技術問題，本發明采用的一種技術方案為：一種延長晶振片壽命的蒸鍍機，所述蒸鍍機包括蒸鍍腔，所述蒸鍍腔內設有鍍源和晶振片，所述晶振片連接有膜厚計，所述延長晶振片壽命的蒸鍍機包括遮擋板，所述遮擋板自轉設置，所述遮擋板自轉所繞軸線垂直于遮擋板；

所述遮擋板包括多個遮擋部和多個鏤空部；多個所述遮擋部繞遮擋板自轉軸線均勻設置，所述鏤空部設置在相鄰的遮擋部之間；所述鏤空部上設有鏤空通道；

所述鏤空通道和遮擋部旋轉所掃過平面均阻隔在鍍源和晶振片之間。

本發明的有益效果在于：所述延長晶振片壽命的蒸鍍機中，鍍源使蒸鍍材料揮發后蒸鍍在晶圓片上或經過遮擋板蒸鍍在晶振片上。

所述遮擋板旋轉，因為遮擋板上設有鏤空通道和遮擋部；故而蒸鍍材料從鍍源蒸鍍到晶振片上的路徑時而被遮擋部阻擋，時而由鏤空通道連通。因此所述遮擋板的設置使晶振片被鍍膜較少。調節膜厚計的修正系數，使膜厚計在接收晶振片的震蕩頻率后可計算出正確的晶圓片上鍍膜厚度。

本發明提供的延長晶振片壽命的蒸鍍機中的晶振片鍍膜厚度比晶圓片上的鍍膜厚度薄，不僅使晶振片的偵測膜厚精度更高，還使晶振片長期處于載荷較低的狀態下，延長了晶振片的使用壽命。

附圖說明

圖1為本發明具體實施方式的一種延長晶振片壽命的蒸鍍機的整體結構示意圖；

圖2為本發明具體實施方式的一種延長晶振片壽命的蒸鍍機的部分結構示意圖；

標號說明：

1、鍍源；2、晶振片；3、遮擋板；31、遮擋部；32、鏤空通道；33、卡接凸起；4、鍍鍋；5、行星軌；6、旋轉環。

具體實施方式

為詳細說明本發明的技術內容、所實現目的及效果，以下結合實施方式并配合附圖予以說明。

請參照圖1-2，一種延長晶振片壽命的蒸鍍機，所述蒸鍍機包括蒸鍍腔，所述蒸鍍腔內設有鍍源1和晶振片2，所述晶振片2連接有膜厚計，所述延長晶振片壽命的蒸鍍機包括遮擋板3，所述遮擋板3自轉設置，所述遮擋板3自轉所繞軸線垂直于遮擋板3；