[發(fā)明專利]肟磺酸酯類光產(chǎn)酸劑及其抗蝕劑組合物應用在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202211266611.1 | 申請日： | 2022-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN115650886A | 公開（公告）日： | 2023-01-31 |
| 發(fā)明（設計）人： | 黃巍;王振強;俞凱文;張春 | 申請（專利權(quán)）人： | 瑞紅（蘇州）電子化學品股份有限公司 |
| 主分類號： | C07C309/66 | 分類號： | C07C309/66;C07C309/65;C07C303/28;C07D213/53;C07D311/96;C07D333/22;C07C45/68;C07C49/67;C07C249/04;C07C251/44;C07C319/20;C07C323/22;C07C323/45 |
| 代理公司： | 上海維卓專利代理有限公司 31409 | 代理人： | 吳彥 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 肟磺酸酯類光產(chǎn)酸劑 及其 抗蝕劑 組合 應用 | ||
1.一種肟磺酸酯類光產(chǎn)酸劑，具有如下通式（1）-（6）所示結(jié)構(gòu)：
其中，
R1表示C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基、C3-C20的環(huán)烷基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的氟代烷基、C3-C20的氟代環(huán)烷基、C6-C18的取代或未取代的芳基、樟腦基、樟腦醌基或疊氮萘酮基團；
R2與R2’可相同，也可不同，各自獨立地選自下列基團：氫，鹵素，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基，C3-C20的環(huán)烷基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的鏈烯基和環(huán)烯基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的炔基，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷氧基，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷硫基，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的鹵代烷基，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的羥基取代烷基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的羥基烷氧基取代烷基，被C6-C10的芳基或芳氧基取代的C1-C20烷基，被1個以上的-O-、-S-、-O-CO-或-CO-O-中斷的C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基或烷氧基，取代或未取代的C6-C10芳基，C6-C20的芳基硫基，含有N、O和/或S的C2-C20的雜環(huán)基團；或者兩個R2彼此相連以形成環(huán)；
R3選自下列基團：氫，氰基，羥基，鹵素，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基，鏈上的氫原子可以被鹵原子或羥基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烯基、C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的炔基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基，或C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基中的-CH2-被-O-、-S-、-CO-、、-COO-或-OCO-取代；C3-C30的環(huán)烷基，其中的氫原子可以被鹵素、C1-C20的直鏈或支鏈烷基、被1個以上的-O-、-S-、-OCO-或-COO-中斷的C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基所取代；橋環(huán)烷基，所述橋環(huán)烷基中的氫原子可以被鹵素、C1-C20的直鏈或支鏈烷基、被1個以上的-O-、-S-、-OCO-或-COO-中斷的C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基所取代；C6-C30芳基，C6-C30芳基的苯基中至少一個氫原子被C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷氧基、C6-C20的芳基取代的C1-C20烷氧基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷硫基、C1-C20的酰基、C1-C20的酰氧基或C1-C20的氧酰基取代形成的取代基；含有N、O和/或S的C2-C20的雜環(huán)基團，其中的氫原子可以被鹵原子或羥基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烯基、C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的炔基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基，或C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基中的-CH2-被-O-、-S-、-CO-、、-COO-或-OCO-取代；
R4和R9（R9’，與R9可相同也可不同）選自下列基團：C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基或鹵代烷基或羥基取代烷基，C3-C20的環(huán)烷基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的鏈烯基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的炔基，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷氧基或烷硫基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的羥基烷氧基取代烷基，被C6-C10的芳基或芳氧基取代的C1-C20烷基，被1個或以上的-O-、-S-、-O-CO-或-CO-O-中斷的C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基； C6-C30芳基，C6-C30芳基的苯基中至少一個氫原子被C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基或烷氧基或烷硫基、C1-C20的酰基、C1-C20的酰氧基或C1-C20的氧酰基取代形成的取代基；含有N、O和/或S的C2-C20的雜環(huán)基團；
R5選自下列基團：氫，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基或鹵代烷基，基中的-CH2-可以被-O-、-S-、-CO-、-COO-或-OCO-所取代形成取代基；C3-C20的環(huán)烷基，其中的氫原子可以被鹵原子或羥基，C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基（鏈中的-CH2-被-O-、-S-、-CO-、、-COO-或-OCO-取代）、C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烯基、C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的炔基取代；C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烯基；C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的炔基；C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的羥基取代烷基，C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的羥基烷氧基取代烷基，被C6-C10的芳基或芳氧基取代的C1-C20烷基，被1個以上的-O-、-S-、-O-CO-或-CO-O-中斷的C2-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基或烷氧基；C6-C30芳基，C6-C30芳基的苯基中至少一個氫原子被C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷氧基、C1-C20的直鏈狀或支鏈狀的烷硫基、C1-C20的酰基、C1-C20的酰氧基或C1-C20的氧酰基取代形成的取代基；C6-C20的芳基硫基，含有N、O和/或S的C2-C20的雜環(huán)基團；
R6、R7與R8選自下列基團：氫，C6-C30芳基，被C1-C20的烷基或烷氧基取代的C6-C30芳基，C1-C20的直鏈或支鏈烷基，或C1-C20的直鏈或支鏈烷基中的-CH2-可以被-O-、-S-、-CO-、-COO-或-OCO-所取代形成取代基；彼此相連以形成環(huán)或與相間的烯基碳原子成環(huán)。
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