[發明專利]不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法

在審

• 申請號: 202211266047.3
• 申請日: 2022-10-17
• 公開（公告）號: CN115595538A
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 葉炳;時方榮;蘇謙慶;龍本滔;郭文平
• 申請（專利權）人: 貴州永紅航空機械有限責任公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/54
• 代理公司: 貴州派騰知識產權代理有限公司 52114
• 代理人: 汪勁松

1.不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法，其特征在于：采用多弧離子鍍在不銹鋼列管式散熱器表面形成TiAlN膜層，鍍膜過程中采用鋁鈦合金靶材，質量占比為鋁67±0.1％，鈦33±0.1％，鋁、鈦總含量不低于99.99％。

2.根據權利要求1所述的不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法，其特征在于：所述多弧離子鍍包括前處理和鍍膜，其中：

所述前處理至少包括以下兩個步驟，

步驟1，采用濕玻璃噴丸對不銹鋼列管式散熱器表面進行清理；

步驟2，采用檸檬酸和表面活性劑為主要成分的清洗劑對不銹鋼列管式散熱器表面進行清洗；

所述鍍膜包括，

采用600V電壓、50％脈沖比對不銹鋼列管式散熱器表面進行轟擊清洗；

采用2段式膜層沉積。

3.根據權利要求2所述的不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法，其特征在于：所述前處理的步驟1和步驟2之間還包括對不銹鋼列管式散熱器進行烘烤處理。

4.根據權利要求3所述的不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法，其特征在于：所述烘烤處理的溫度為240±10℃，時間4±0.1h。

5.根據權利要求2所述的不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法，其特征在于：

所述前處理的步驟1中，采用220～260目粒徑玻璃珠，0.4～0.6MPa壓力對待鍍膜的不銹鋼列管式散熱器表面進行清理；

所述前處理的步驟2中，采用超聲波清洗的方式配合以檸檬酸和表面活性劑為主要成分的清洗劑對不銹鋼列管式散熱器表面進行清洗。

6.根據權利要求5所述的不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法，其特征在于：所述超聲波清洗的頻率為24kHz，時間30min，清洗完成后，用清水將不銹鋼列管式散熱器表面殘留的清洗劑漂洗干凈。

7.根據權利要求2所述的不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法，其特征在于：所述前處理的步驟2之后還包括依次進行的烘干和裝配不銹鋼列管式散熱器，并且在完成烘干后24h內進行不銹鋼列管式散熱器表面鍍膜。

8.根據權利要求7所述的不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法，其特征在于：所述烘干溫度為100±10℃，時間為0.5±0.1h。

9.根據權利要求2所述的不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法，其特征在于：所述鍍膜時，在1h內將真空爐的真空度降至1×10^-3Pa，在30±5min內將真空爐溫度升至150℃±10℃。

10.根據權利要求2所述的不銹鋼列管式散熱器表面TiAlN膜層的制備方法，其特征在于：所述鍍膜時，

第1段膜層沉積時電壓低于第2段膜層沉積時電壓；

第1段膜層沉積時電流等于第2段膜層沉積時電流；

第1段膜層沉積時氮氣流量大于第2段膜層沉積時氮氣流量，且第1段膜層沉積時氮氣的保持時間短于第2段膜層沉積時氮氣的保持時間。