[發明專利]一種層析光柵色散校正系統及方法

在審

• 申請號: 202211259504.6
• 申請日: 2022-10-14
• 公開（公告）號: CN115685538A
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 紀元
• 申請（專利權）人: 吉林省安譜科技有限公司
• 主分類號: G02B27/00
• 分類號: G02B27/00;G02B27/42;G02B27/44
• 代理公司: 哈爾濱市陽光惠遠知識產權代理有限公司 23211
• 代理人: 高原

1.一種層析光柵色散校正系統，其特征在于，所述系統包括顯微物鏡、層析光柵、平面直條紋閃耀光柵、筒鏡和CCD相機；層析光柵置于顯微物鏡的孔徑光闌處，在層析光柵后方放置平面直條紋閃耀光柵，在平面直條紋閃耀光柵后方放置筒鏡，在筒鏡后方放置CCD相機；保證入射到平面直條紋閃耀光柵上的光束無交疊，保證筒鏡、閃耀光柵和CCD相機組成的是像方遠心光路。

2.根據權利要求1所述的色散矯正系統，其特征在于，所述保證入射到平面直條紋閃耀光柵上的光束無交疊為：在層析光柵后方距離為L處放置平面直條紋閃耀光柵，L的取值需要滿足使層析光柵0級衍射光的邊緣正視場和-1級衍射光的邊緣負視場在平面直條紋閃耀光柵上沒有交疊。

3.根據權利要求2所述的色散矯正系統，其特征在于，L的計算公式為：其中d為層析光柵中心周期，θ為層析光柵邊緣視場一級色散角，l為顯微物鏡線視場，f為顯微物鏡焦距，λ為層析光柵中心波長，Φ為顯微物鏡入射光束直徑，所述d、l、f、Φ和λ均為已知量。

4.根據權利要求1所述的色散矯正系統，其特征在于，保證筒鏡、閃耀光柵和CCD相機組成的是像方遠心光路的方法為：平面直條紋閃耀光柵與筒鏡之間的距離和筒鏡與CCD相機之間的距離相等，均為筒鏡的焦距。

5.根據權利要求4所述的色散矯正系統，其特征在于，選擇焦距為顯微物鏡十倍的筒鏡。

6.根據權利要求1所述的色散矯正系統，其特征在于，使用周期大于層析光柵10％-30％的平面直條紋閃耀光柵，并且根據實際需要確定平面直條紋閃耀光柵周期具體數值。

7.一種層析光柵色散校正方法，其特征在于，所述色散校正方法使用如權利要求1-6任一項所述的色散矯正系統，所述方法具體為：不同波長的入射光由顯微物鏡進入層析光柵，在層析光柵上發生衍射，-1和+1級衍射光入射到平面直條紋閃耀光柵的+1和-1極上，0級衍射光直接透過平面直條紋閃耀光柵，平面直條紋閃耀光柵將不同衍射角度的平行光校正為相同衍射角的平行光，經過筒鏡的放大后投射到CCD相機上。