[發明專利]一種二維材料真空轉移系統

在審

• 申請號: 202211257468.X
• 申請日: 2022-10-14
• 公開（公告）號: CN115610975A
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發明（設計）人: 李逸飛;丁逸凡;吳越珅;王靖琿;李軍
• 申請（專利權）人: 上海科技大學
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74;B65G69/20
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 翁若瑩;張業民

1.一種二維材料真空轉移系統，其特征在于，包括真空腔體、真空泵、顯微鏡、腔體外位移臺和位移臺控制器；真空泵與真空腔體連接；真空腔體外設有與顯微鏡連接的腔體外位移臺；真空腔體的上端面設有上視窗，顯微鏡設于上視窗的上方；真空腔體中設有腔內位移臺；腔內位移臺上設有樣品臺；所述腔體外位移臺和腔內位移臺分別與位移臺控制器連接。

2.根據權利要求1所述的一種二維材料真空轉移系統，其特征在于，所述真空泵設有數字真空規。

3.根據權利要求1所述的一種二維材料真空轉移系統，其特征在于，所述腔體外位移臺包括一用于顯微鏡在一平面上沿X/Y軸移動的上下疊加成十字形的直線電動位移底座；底座上設有顯微鏡。

4.根據權利要求1所述的一種二維材料真空轉移系統，其特征在于，所述腔內位移臺包括一用于樣品臺在一平面上沿X/Y軸移動的上下疊加成十字形的直線電動位移底座，底座上設有沿Z軸升降的升降臺，升降臺的頂部設有一360度旋轉平臺；旋轉平臺上設有樣品臺。

5.根據權利要求4所述的一種二維材料真空轉移系統，其特征在于，所述樣品臺的頂部設有用于與目標材料貼合的襯底。

6.根據權利要求5所述的一種二維材料真空轉移系統，其特征在于，所述襯底至少為一片。

7.根據權利要求4所述的一種二維材料真空轉移系統，其特征在于，所述樣品臺的側面設有加熱板和溫度傳感器。