[發明專利]一種清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝

在審

• 申請號: 202211257433.6
• 申請日: 2022-10-14
• 公開（公告）號: CN115548163A
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 陸銀川;穆亞琦
• 申請（專利權）人: 常州阿普智能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/673;B08B13/00
• 代理公司: 蘇州曼博專利代理事務所(普通合伙) 32436
• 代理人: 宋俊華

1.一種清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝，其特征在于，對內置有石墨舟的工藝腔體輸入工藝氣體，通過放電用射頻電源使工藝腔體內的工藝氣體形成等離子體，通過偏壓電源驅動等離子體轟擊石墨舟，實現清除石墨舟上沉積的薄膜。

2.根據權利要求1所述的清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝，其特征在于，所述工藝腔體中設有：用于放置石墨舟的絕緣板，以及位于絕緣板正上方的上電極板；

所述石墨舟放置在絕緣板上，以使得石墨舟與工藝腔體保持絕緣；且上電極板懸空于石墨舟正上方，上電極板通過射頻匹配器與射頻電源連接；

所述工藝氣體經供氣管路輸入工藝腔體；工藝腔體通過供氣管路與供氣系統連接，工藝氣體由供氣系統供應；供氣管路上還設有氣體流量控制器；

所述工藝腔體還配有真空抽氣系統、氮氣回填系統、壓力控制系統、中央控制系統和尾氣處理系統。

3.根據權利要求2所述的清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝，其特征在于，所述放電用射頻電源為13.56MHZ的射頻電源。

4.根據權利要求2所述的清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝，其特征在于，所述上電極板還包括：插入石墨舟的石墨舟片間隙中的延伸部；且石墨舟與上電極板及其延伸部都保持絕緣。

5.根據權利要求2所述的清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝，其特征在于，所述偏壓電源直接作用在石墨舟電極孔上。

6.根據權利要求5所述的清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝，其特征在于，所述直接作用在石墨舟電極孔上的偏壓電源，為直流偏壓電源。

7.根據權利要求2所述的清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝，其特征在于，所述工藝腔體中還設有：位于上電極板正下方的下電極板；

所述石墨舟位于下電極板正上方，且石墨舟與下電極板保持絕緣；下電極板與偏壓電源連接；且與下電極板連接的偏壓電源，為偏壓用射頻電源。

8.根據權利要求7所述的清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝，其特征在于，所述偏壓用射頻電源為13.56MHZ的射頻電源。

9.根據權利要求2至8中任一項所述的清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝，其特征在于，包括如下具體步驟：

1)通過自動化設備將石墨舟送入工藝腔體內，然后封閉工藝腔體，此時工藝腔體內部為常溫常壓；

2)然后通過真空抽氣系統對工藝腔體抽真空，直至真空壓力到達預定壓力，并保持一定時間；若壓力能保持住，則判斷工藝腔體無漏點，并進行后續步驟；若壓力不能保持住，則判斷工藝腔體需要檢漏，不進行后續步驟；

3)然后啟動供氣系統向工藝腔體供應工藝氣體，并啟動壓力控制系統，使工藝腔體內壓力保持在穩定的工藝壓力，且開啟放電用射頻電源和偏壓電源，產生輝光，根據石墨舟上要刻蝕清除的薄膜厚度調整輝光時間，直至石墨舟表面的薄膜被清除；

4)然后關閉放電用射頻電源和偏壓電源，工藝腔體維持抽真空一定時間，然后向工藝腔體回填氮氣，直至工藝腔體恢復常壓狀態；然后通過自動化設備將石墨舟從工藝腔體中拖出；且從工藝腔體中抽出的尾氣送入尾氣處理系統進行處理。

10.根據權利要求9所述的清洗光伏生產用石墨舟的反應離子刻蝕工藝，其特征在于，所述工藝氣體采用含氟氣體或含氟氣體與氧氣的混合氣體；所述含氟氣體選自CF₄、CHF₃、SF₆、NF₃、C₂F₆中的一種或幾種。