[發明專利]圓角矩形面形數據的處理方法

在審

• 申請號: 202211253092.5
• 申請日: 2022-10-13
• 公開（公告）號: CN115631255A
• 公開（公告）日: 2023-01-20
• 發明（設計）人: 谷茜茜;李曉波;白曉泉;楊勛;姜禹希;班章
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G06T11/20
• 分類號: G06T11/20
• 代理公司: 長春中科長光知識產權代理事務所(普通合伙) 22218
• 代理人: 郭婷

本發明涉及光學檢測領域，基于編程和矩陣布爾運算具體提供一種便于快速調整mask區域大小的圓角矩形面形數據的處理方法，具體步驟如下：S1、獲取原始數據的有效數據矩陣；S2、基于圓角矩形面形數據進行分區域mask矩陣建模；S3、進行各矩陣間的布爾運算；S4、將有效數據矩陣與總mask矩陣取交集，獲得mask建模后的圓角矩形面形數據?，F有技術中手繪的mask區域存在不確定性高、誤差大以及多次繪制時的一致性低等缺點，而本發明是基于編程和矩陣布爾運算提出的，便于快速調整mask區域大小，并且避免了手動繪制mask區域的誤差，提高了繪制精度和多次繪制時的一致性。

技術領域

本發明涉及光學檢測領域，具體提供一種便于快速調整mask區域大小的圓角矩形面形數據的處理方法。

背景技術

現有技術中，對于高精密光學面形檢測通常使用干涉測量的方法，為保證面形數據加載到光學系統中的準確性，需要對原始的面形數據進行mask，去除周圍衍射。測量過程的大部分工作鏡為圓形口徑，并且圓形口徑的工作鏡在對數據進行mask時直接畫圓，再將mask圓的半徑減小，再和原始面形數據取交集。

對于矩形口徑的工作鏡而言，出于安全考慮將矩形口徑的工作鏡的四個角一般加工成圓角，對面形數據進行mask不僅僅是畫矩形。例如用Metropro軟件中的“Mask Data”編輯器中的“curve”和“polygon”等進行masks處理時，需要手動繪制mask區域，但存在不確定性，誤差較大，多次繪制很難保證一致性且比較浪費時間。

發明內容

本發明為解決上述問題，基于編程和矩陣布爾運算提供了一種便于快速調整mask區域大小的圓角矩形面形數據的處理方法，規避了手動繪制mask區域的不確定性，且誤差較小。

本發明提供的圓角矩形面形數據的處理方法，包括以下步驟：

S1、獲取原始數據的有效數據矩陣；

S2、基于圓角矩形面形數據進行分區域mask矩陣建模；

對圓角矩形面形的4個圓角進行圓形mask矩陣建模；

對圓角矩形面形的橫向進行矩形mask矩陣建模；

對圓角矩形面形的縱向進行矩形mask矩陣建模；

S3、對4個圓形mask矩陣和2個矩形mask矩陣取并集，獲得總mask矩陣；

S4、將有效數據矩陣與總mask矩陣取交集，獲得mask建模后的圓角矩形面形數據。

優選的，圓形mask矩陣的半徑和圓心根據有效數據矩陣確定。

優選的，圓形mask矩陣和矩形mask矩陣規定區域內的數據賦值為1；圓形mask矩陣和矩形mask矩陣外的數據賦值為0。

優選的，圓形mask矩陣和矩形mask矩陣的大小與有效數據矩陣的大小相等。

優選的，S2在mask處理過程中，還包括依據有效數據矩陣設定待去掉的點數，即cut；圓形mask矩陣和矩形mask矩陣的大小可以根據cut調整，cut為整數，且大于或等于零小于未mask建模的圓角的對應圓的半徑。

優選的，總mask矩陣規定區域內的數據賦值為1；總mask矩陣規定區域外的數據賦值為0。

與現有技術相比，本發明能夠取得如下有益效果：

本發明基于編程和矩陣布爾運算可快速調整mask區域大小，同時避免了現有技術中手動繪制mask區域的不確定性，減小了mask區域的不確定誤差。

本發明代替了手動繪制mask區域，且劃定mask區域速度快、誤差小，可避免每次調整mask區域都需要重新手繪的不便。

附圖說明