[發(fā)明專利]一種清洗藥液配置系統(tǒng)及監(jiān)控方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211246172.8
• 申請(qǐng)日: 2022-10-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115463594A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁祥龍;劉園;吳雪強(qiáng);武衛(wèi);劉建偉;祝斌;劉姣龍;裴坤羽;孫晨光;王彥君;張宏杰;由佰玲;常雪巖;楊春雪;謝艷;劉秒;呂瑩;徐榮清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司;中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號(hào): B01F33/80
• 分類號(hào): B01F33/80;B01F35/21;B01F35/221;B01F35/71;B01F35/80;H01L21/67
• 代理公司: 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

本發(fā)明提供一種清洗藥液配置系統(tǒng)，包括：原液部：其設(shè)有原液槽；配液部：其設(shè)有配液槽；清洗部，其配置有清洗槽；每個(gè)所述原液槽至少與一個(gè)所述配液槽連通；其中一個(gè)所述原液槽，與所有所述配液槽連通，且至少與其中一個(gè)所述清洗槽連通；每個(gè)所述清洗槽至少與一個(gè)所述配液槽連通。本發(fā)明一種清洗藥液配置系統(tǒng)，可自動(dòng)對(duì)多組藥液進(jìn)行配置，且可保證所有藥液常用常新，尤其是適用于持續(xù)性的硅片清洗所用的藥液，并可對(duì)每個(gè)槽內(nèi)的藥液進(jìn)行監(jiān)控，做到現(xiàn)用現(xiàn)配、先配先用，不僅可自動(dòng)補(bǔ)液而且還可保證藥液的鮮活性，提高硅片清洗效果。本發(fā)明還提出一種采用該配置系統(tǒng)的監(jiān)控方法。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于硅片清洗用藥液的配置技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種清洗藥液配置系統(tǒng)及監(jiān)控方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)有硅片所用的藥液都是半自動(dòng)化配置，先人工將原液的劑量統(tǒng)計(jì)好，再人工將其混合，再將混合后的藥液放到中轉(zhuǎn)槽中晃動(dòng)混合，再?gòu)闹修D(zhuǎn)槽中向清洗機(jī)中輸送。當(dāng)中轉(zhuǎn)槽中出現(xiàn)報(bào)警時(shí)，再人工將混合后的藥液倒入中轉(zhuǎn)槽中進(jìn)行補(bǔ)液。這種方式不僅配置比例無(wú)法把控，而且有些藥液對(duì)身體有傷害，也容易污染環(huán)境。同時(shí)，中轉(zhuǎn)槽采用晃動(dòng)的方法進(jìn)行混合，容易使藥液飛濺出來(lái)，也不易監(jiān)控中轉(zhuǎn)槽中的液面位置高度，給藥液監(jiān)控帶來(lái)極大麻煩。人工監(jiān)控補(bǔ)液更無(wú)法保證藥液使用持續(xù)性和穩(wěn)定性，由于人員需要提前將藥液配置好，也無(wú)法保證藥液混合的實(shí)效性，會(huì)導(dǎo)致藥液中的濃度被稀釋，其清洗效果就會(huì)減弱，從而會(huì)導(dǎo)致批量硅片表面清洗不合格。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種清洗藥液配置系統(tǒng)及監(jiān)控方法，尤其是適用于大尺寸硅片的逐片清洗，解決了現(xiàn)有藥液配制中無(wú)法自動(dòng)補(bǔ)液的技術(shù)問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種清洗藥液配置系統(tǒng)，包括：

原液部：其設(shè)有原液槽；

配液部：其設(shè)有配液槽；

清洗部，其配置有清洗槽；

每個(gè)所述原液槽至少與一個(gè)所述配液槽連通；

其中一個(gè)所述原液槽，與所有所述配液槽連通，且至少與其中一個(gè)所述清洗槽連通；

每個(gè)所述清洗槽至少與一個(gè)所述配液槽連通。

進(jìn)一步的，每個(gè)所述配液槽中設(shè)有用于監(jiān)控液位高度的測(cè)位儀及用于監(jiān)控溫度的測(cè)溫儀。

進(jìn)一步的，每個(gè)所述配液槽至少設(shè)有兩個(gè)輸出管，其中一個(gè)所述輸出管的藥液流至所述清洗槽中，另一個(gè)所述輸出管的藥液回流至其所在的所述配液槽中。

進(jìn)一步的，與所述清洗槽連通的所述輸出管上還設(shè)有供給泵；所有所述原液槽的輸出管以及所有所述配液槽的輸出管上均設(shè)有單向控制閥。

進(jìn)一步的，還包括回收部，其設(shè)有回收槽，每個(gè)所述配液槽與其中一個(gè)所述回收槽連通。

進(jìn)一步的，還設(shè)有處理部，其設(shè)有處理池，所有所述清洗槽與所述處理池連通；

所有所述回收槽的輸出管，與所述處理池連通或者與其相對(duì)應(yīng)的所述配液槽連通。

進(jìn)一步的，還包括監(jiān)控部，其設(shè)有控制器，所述控制器分別與所述原液部、所述配液部、所述清洗部、所述回收部、以及所述處理部電連接。

一種清洗藥液配置監(jiān)控方法，用于監(jiān)控如上任一項(xiàng)所述的配置系統(tǒng)，步驟包括：

獲取所述配液槽中液位的位置；

判斷所述配液槽中液位的位置是否在標(biāo)準(zhǔn)范圍之內(nèi)；

若是，繼續(xù)向所述清洗槽中輸出配置好的藥液；

若不是，向所述配液槽中補(bǔ)充藥液或排出多余的藥液；

在整個(gè)清洗過(guò)程中，所述配液槽中的其中一個(gè)輸出管自循環(huán)流通。