[發明專利]一種激光透射長波紅外截止及雷達電磁波屏蔽的膜系結構

在審

• 申請號: 202211244815.5
• 申請日: 2022-10-12
• 公開（公告）號: CN115755233A
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 李鵬;李繼朋;劉楚;呂一帆;陳志航;劉旺海;張鵬飛
• 申請（專利權）人: 中國航空工業集團公司洛陽電光設備研究所
• 主分類號: G02B1/10
• 分類號: G02B1/10;G02B1/115;G02B1/14;G02B5/28;H05K9/00
• 代理公司: 北京清大紫荊知識產權代理有限公司 11718
• 代理人: 張倩

本發明提供了一種激光透射長波紅外截止及雷達電磁波屏蔽的膜系結構，包括多光譜硫化鋅基底、設置在多光譜硫化鋅基底正面的六層薄膜和設置在多光譜硫化鋅基底背面的三層薄膜，正面的六層薄膜從里到外依次為第一層NiCr膜，第2層Au膜，第3層Ta₂O₅膜，第4層SiO₂膜，第5層Ta₂O₅膜和第6層SiO₂膜；背面的三層薄膜從里到外依次為第1層ITO膜，第2層Ta₂O₅膜和第3層SiO₂膜。本發明所提供的激光透射長波紅外截止及雷達電磁波屏蔽的膜系結構具有對在0°測試1.064μm激光波長透射率大于86％、7.7μm～11μm長波紅外波段透過率平均設計值小于10％、且對雷達波高效屏蔽功能。

技術領域

本發明屬于光學薄膜技術領域，具體涉及一種激光透射長波紅外截止及雷達電磁波屏蔽的膜系結構。

背景技術

多光譜硫化鋅紅外光窗是機載紅外搜索跟蹤系統產品的關鍵部件，應用在超音速機載環境，使用中除滿足傳輸激光、截止長波紅外波段與屏蔽雷達波段作用外，還要承受高速氣流、雨蝕和砂塵等惡劣環境的作用。因此，硫化鋅光窗表面須涂覆一種能在高速氣流、雨蝕和砂塵等惡劣環境下，滿足傳輸激光、截止長波紅外波段與屏蔽雷達波段作用的同時還能具有足夠高的強度對光窗進行保護的膜系結構。

發明內容

為了解決上述問題，本發明的目的在于提供一種激光透射長波紅外截止及雷達電磁波屏蔽的膜系結構。

為了實現上述目的，本發明提供了如下技術方案，提供一種激光透射長波紅外截止及雷達電磁波屏蔽的膜系結構，所述膜系結構包括多光譜硫化鋅基底、設置在多光譜硫化鋅基底正面的六層薄膜和設置在多光譜硫化鋅基底背面的三層薄膜，

設置在多光譜硫化鋅基底正面的六層薄膜從里到外依次為第一層NiCr膜，第2層Au膜，第3層Ta₂O₅膜，第4層SiO₂膜，第5層Ta₂O₅膜和第6層SiO₂膜；

設置在多光譜硫化鋅基底背面的三層薄膜從里到外依次為第1層ITO膜，第2層Ta₂O₅膜和第3層SiO₂膜，

所述各膜層厚度為：