[發(fā)明專利]支承玻璃基板及使用其的層疊體在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202211243838.4 | 申請日： | 2015-03-11 |
| 公開（公告）號： | CN115636583A | 公開（公告）日： | 2023-01-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 池田光;鈴木良太 | 申請（專利權(quán)）人： | 日本電氣硝子株式會社 |
| 主分類號： | C03C3/091 | 分類號： | C03C3/091;C03C3/093;H01L21/683 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 任巖 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 支承 玻璃 使用 層疊 | ||
1.一種支承玻璃基板，其特征在于，在20℃～200℃的溫度范圍內(nèi)的平均線性熱膨脹系數(shù)為66×10-7/℃以上且81×10-7/℃以下。
2.一種支承玻璃基板，其特征在于，在30℃～380℃的溫度范圍內(nèi)的平均線性熱膨脹系數(shù)為70×10-7/℃以上且85×10-7/℃以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的支承玻璃基板，其特征在于，在半導(dǎo)體封裝體的制造工序中用于加工基板的支承。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的支承玻璃基板，其特征在于，在波長300nm時的板厚方向的紫外線透過率為40％以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的支承玻璃基板，其特征在于，楊氏模量為65GPa以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項所述的支承玻璃基板，其特征在于，以質(zhì)量％計含有SiO240％～80％、Al2O3 1％～20％、B2O3 0％～20％、MgO 0％～12％、CaO 0％～10％、SrO 0％～20％、BaO 0％～20％、ZnO 0％～10％、Na2O 4％～20％、和K2O 0％～15％作為玻璃組成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的支承玻璃基板，其特征在于，以質(zhì)量％計含有SiO2 60％～75％、Al2O3 5％～15％、B2O3 5％～20％、MgO 0％～5％、CaO 0％～10％、SrO 0％～5％、BaO 0％～5％、ZnO 0％～5％、Na2O 7％～16％、和K2O 0％～8％作為玻璃組成。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的支承玻璃基板，其特征在于，以質(zhì)量％計含有SiO2 50％～80％、Al2O3 1％～20％、B2O3 0％～20％、MgO 0％～5％、CaO 0％～10％、SrO 0％～5％、BaO 0％～5％、ZnO 0％～5％、Na2O 5％～20％、和K2O 0％～10％作為玻璃組成。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的支承玻璃基板，其特征在于，以質(zhì)量％計含有SiO2 60％～75％、Al2O3 10％～20％、B2O3 0％～10％、MgO 0％～5％、CaO 0％～5％、SrO 0％～5％、BaO 0％～5％、ZnO 0％～5％、Na2O 6％～18％、和K2O 0％～8％作為玻璃組成。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的支承玻璃基板，其特征在于，以質(zhì)量％計含有SiO2 40％～60％、Al2O3 5％～20％、B2O3 0％～20％、MgO 0％～5％、CaO 0％～10％、SrO 0％～20％、BaO 0％～20％、Na2O 4％～20％、和K2O 0％～10％作為玻璃組成。
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