[發明專利]一種表壓傳感器

在審

• 申請號: 202211226939.0
• 申請日: 2022-10-09
• 公開（公告）號: CN115507994A
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 王小平;曹萬;張超軍;梁世豪;洪鵬
• 申請（專利權）人: 武漢飛恩微電子有限公司
• 主分類號: G01L9/02
• 分類號: G01L9/02;G01L19/14;G01L19/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種表壓傳感器，其包括：殼體；將殼體內腔分隔為第一腔和第二腔的分隔組件，分隔組件上設有連通第一腔和第二腔的通孔，第二腔通過殼體的縱向一側開設的表壓孔連通至殼體的外部；壓力芯片，其壓力感測面從第二腔的縱向一側的相對側封堵通孔；設置于第二腔內并與壓力芯片連接的電路板；及連接于殼體的縱向一側并連通至第二腔的壓力接頭管。本申請的表壓傳感器能夠有效地降低水和粉塵的侵入。

技術領域

本申請涉及壓力傳感器技術領域，具體涉及一種表壓傳感器。

背景技術

MEMS壓力傳感器是利用經過微機械加工的半導體材料的壓阻效應進行壓力測量的，其依靠壓力膜來感應外界介質壓力，處于壓力膜上的壓阻元件在受到從壓力膜傳來的壓力時，其電阻值發生改變。通過對電阻值變化的監測，可以判斷壓力的大小，并通過電路將壓力的大小轉化為電信號輸出到外圍電路控制系統。壓力傳感器包括絕壓、表壓和差壓傳感器，其中，表壓傳感器是在壓力膜的一側引入待測壓力，另一側引入大氣壓力。

現有的表壓傳感器，其通常包括殼體及上蓋，引入待測壓力的壓力接口設置于底部，用于引用大氣壓力的表壓孔則通常設置于頂部或者側部。為了隔絕工作環境中雨水侵入，一般需要在表壓孔處設置防水透氣膜。

但在本申請發現上述技術至少仍存在一些技術問題，例如，在雨水量較大且排水不暢時，容易導致雨水完全覆蓋防水透氣膜，起不到通氣的作用。

本部分中的陳述僅提供與本申請相關的背景信息并且可以不構成現有技術。

發明內容

針對現有技術的不足，本申請提供了一種表壓傳感器，以避免防水透氣膜被水所覆蓋阻塞。

為實現上述目的，本申請提供如下技術方案：一種表壓傳感器，其包括：

殼體；

將殼體內腔分隔為第一腔和第二腔的分隔組件，分隔組件上設有連通第一腔和第二腔的通孔，第二腔通過殼體的縱向一側開設的表壓孔連通至殼體的外部；

壓力芯片，其壓力感測面從第二腔的所述縱向一側的相對側封堵所述通孔；

設置于第二腔內并與壓力芯片連接的電路板；

及連接于殼體的所述縱向一側并連通至第二腔的壓力接頭管。

優選地，所述表壓孔處安裝有防水透氣膜。

優選地，防水透氣膜安裝于表壓孔的內側一端，防水透氣膜與所述殼體內壁之間設有墊高框，和/或殼體上設有一圈位于所述防水透氣膜周圍的圍擋和/或隔膠槽。

優選地，所述表壓孔為兩個，兩個所述表壓孔之間沿垂直于縱向的第一方向排列。

優選地，所述殼體內固定有多個魚眼插針，電路板上對應設有多個插針孔，魚眼插針的一端對應卡接于多個插針孔內。

優選地，所述表壓孔為兩個，兩個所述表壓孔之間沿垂直于縱向的第一方向排列；三個魚眼插針之間沿垂直于縱向的第一方向排列，其中的一個魚眼插針從殼體的位于兩個表壓孔之間的部分穿過，其中的另外兩個魚眼插針分別從殼體的位于兩個表壓孔的相背離一側的部分穿過。

優選地，所述殼體的所述縱向一側表面的近邊緣處朝內凹陷形成一圈排水槽，所述殼體的縱向一側表面邊緣相對朝外凸起形成一圈凸緣，所述凸緣的拐角處設有連通至排水槽的排水口。

優選地，所述殼體的所述縱向一側表面上相對于所述排水槽朝外凸起形成兩個凸起部，兩個凸起部分別位于兩個所述表壓孔的相背離一側。

優選地，所述凸起部與所述凸緣的所述縱向一側平齊于一橫向平面。

優選地，所述壓力接頭管縱向延伸。