[發明專利]光學濾波器在審
| 申請號： | 202211213659.6 | 申請日： | 2022-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN115933036A | 公開（公告）日： | 2023-04-07 |
| 發明（設計）人： | 三宅雅章;龍岡直人 | 申請（專利權）人： | AGC株式會社;日本真空光學株式會社 |
| 主分類號： | G02B5/28 | 分類號： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 楊青;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 濾波器 | ||
1.一種光學濾波器，具備基材和層疊于所述基材的兩主面側的第一電介質多層膜及第二電介質多層膜，其中，
所述第一電介質多層膜和第二電介質多層膜分別是低折射率膜、中折射率膜和高折射率膜層疊一層以上而成的層疊體，
所述第一電介質多層膜和第二電介質多層膜分別具有兩層以上的所述中折射率膜，
所述第一電介質多層膜和第二電介質多層膜分別具有按低折射率膜、中折射率膜、高折射率膜的順序層疊而成的構造，
所述光學濾波器滿足下述全部分光特性(i-1)和分光特性(i-2)：
(i-1)800nm～1600nm的波長區域中的入射角0°下的最大透射率T800-1600(0)MAX為90％以上；
(i-2)800nm～1600nm的波長區域中的入射角50°下的最小反射率R800-1600(50)MIN為1％以下。
2.根據權利要求1所述的光學濾波器，其中，
所述光學濾波器進一步滿足下述分光特性(i-3)和分光特性(i-4)：
(i-3)400nm～680nm的波長區域中的入射角0°下的平均透射率T400-680(0)AVE為2％以下；
(i-4)400nm～680nm的波長區域中的入射角5°下的平均反射率R400-680(5)AVE為10％以下。
3.根據權利要求1所述的光學濾波器，其中，
所述第一電介質多層膜的膜厚與所述第二電介質多層膜的膜厚的總和為1.2μm～2.9μm。
4.根據權利要求1所述的光學濾波器，其中，
所述第一電介質多層膜的層疊數量為10層～22層。
5.根據權利要求1所述的光學濾波器，其中，
所述第二電介質多層膜的層疊數量為8層～26層。
6.根據權利要求1所述的光學濾波器，其中，
所述第一電介質多層膜的膜厚為0.3μm～1.3μm。
7.根據權利要求1所述的光學濾波器，其中，
所述第二電介質多層膜的膜厚為0.8μm～1.6μm。
8.根據權利要求1所述的光學濾波器，其中，
在所述第一電介質多層膜和第二電介質多層膜中，所述高折射率膜的膜厚的總和分別為0.1μm～0.6μm。
9.根據權利要求1所述的光學濾波器，其中，
在所述第一電介質多層膜和第二電介質多層膜中，所述中折射率膜的膜厚的總和分別為0.1μm～0.9μm。
10.根據權利要求1所述的光學濾波器，其中，
在所述第一電介質多層膜和第二電介質多層膜中，所述低折射率膜的膜厚的總和分別為0.8μm～1.8μm。
11.一種LiDAR傳感器，具備權利要求1至10中任一項所述的光學濾波器作為傳感器模塊的罩。
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