[發(fā)明專利]一種基于金屬與電介質混合薄膜源極的柔性垂直溝道場效應管

在審

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• 申請日: 2022-09-30
• 公開（公告）號: CN115440888A
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發(fā)明（設計）人: 劉東琦;彭應全;張月;胡洋;張寧波;呂文理
• 申請（專利權）人: 中國計量大學
• 主分類號: H01L51/10
• 分類號: H01L51/10;H01L51/30;H01L51/05
• 代理公司: 北京知藝互聯知識產權代理有限公司 16137
• 代理人: 孫一方

1.一種基于金屬與電介質混合薄膜源極的柔性垂直溝道場效應管，從下到上由柔性襯底、柵極、柵介質、金屬與電介質混合薄膜源極、半導體活性層和漏極組成，其特征在于所述襯底為剛性或柔性；所述柵極和漏極為導電薄膜。

2.根據權利要求1所述的基于金屬與電介質混合薄膜源極的柔性垂直溝道場效應管，其特征在于半導體活性層為柔性無機半導體、有機半導體、柔性鈣鈦礦半導體和二維半導體。

3.根據權利要求1所述的基于金屬與電介質混合薄膜源極的柔性垂直溝道場效應管，其特征在于金屬與電介質混合薄膜由金屬納米顆粒與電介質納米顆粒組成。

4.根據權利要求1所述的基于金屬與電介質混合薄膜源極的柔性垂直溝道場效應管，其特征在于金屬與電介質混合薄膜由真空熱共蒸發(fā)、共濺射和溶液旋涂方法制備。

5.根據權利要求1所述的基于金屬與電介質混合薄膜源極的柔性垂直溝道場效應管，其特征在于金屬與電介質混合薄膜的導電性能和介電性能可以通過金屬與電介質重量混合比調節(jié)。