[發明專利]一種避免表面損傷的半導體晶片用兆聲清洗裝置

有效

• 申請號: 202211205891.5
• 申請日: 2022-09-30
• 公開（公告）號: CN115254781B
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 顧雪平;時新宇
• 申請（專利權）人: 智程半導體設備科技（昆山）有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B3/08;B08B3/14;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種避免表面損傷的半導體晶片用兆聲清洗裝置，其特征在于：包括裝配外殼（1），所述裝配外殼（1）的內部分別設置有能量發生機構（2）和方位調節機構（3），所述裝配外殼（1）的外壁一側設置有物料輸送機構（4），所述能量發生機構（2）的底部固定安裝有廢液凈化機構（5），所述裝配外殼（1）的正表面設置有液體輸送機構（6）；

所述能量發生機構（2）包括內接板（201），所述內接板（201）的內部預設有圓孔，且圓孔的內表壁放置有清洗槽（202），所述清洗槽（202）的外表壁固定套設有加強套環（203），所述加強套環（203）的底部通過一組螺絲固定安裝在內接板（201）的頂部，所述內接板（201）的內部開設有一組矩形凹槽（204），一組所述矩形凹槽（204）的內部固定連接有超聲組件（205），一組所述超聲組件（205）的輸出端均固定連接有換能器（206），一組所述換能器（206）的輸出端均固定連接有振動桿（207），一組所述振動桿（207）均置于清洗槽（202）的內部，所述清洗槽（202）的底部分別開設有進液孔洞（208）和一組排液孔洞（209）；

所述方位調節機構（3）包括連接架（301），所述連接架（301）的內部固定插設有一組電動伸縮桿A（302），一組所述電動伸縮桿A（302）的輸出端之間固定套設有銜接板（303），所述銜接板（303）的內部固定插設有伺服電機（304），所述伺服電機（304）的輸出端焊接有U型架A（305），所述U型架A（305）的底部固定安裝有托盤（306），所述托盤（306）的內部分別預設有鏤空槽（307）、承載槽（308）和缺口（309），所述裝配外殼（1）的內壁頂部開設有環槽（310），所述環槽（310）的內壁頂部固定連接有一組紅外固體激光器（311）。

2.根據權利要求1所述的避免表面損傷的半導體晶片用兆聲清洗裝置，其特征在于：所述物料輸送機構（4）包括加強板A（401），所述加強板A（401）的外表壁固定安裝在裝配外殼（1）的外壁一側，所述加強板A（401）的外表壁焊接有嫁接板A（402），所述嫁接板A（402）的頂部開設有軌跡槽（403），所述軌跡槽（403）的內部活動設置有轉盤（404）。

3.根據權利要求2所述的避免表面損傷的半導體晶片用兆聲清洗裝置，其特征在于：所述轉盤（404）的頂部固定安裝有支撐桿（405），所述支撐桿（405）的頂部固定安裝有橫板（406），所述橫板（406）的內部固定安裝有一組安裝套筒（407），一組所述安裝套筒（407）的內表壁固定安裝有電動伸縮桿B（408），一組所述電動伸縮桿B（408）的輸出端之間固定套設有托架（409）。

4.根據權利要求2所述的避免表面損傷的半導體晶片用兆聲清洗裝置，其特征在于：所述嫁接板A（402）的底部固定安裝有轉向電機（410），所述轉向電機（410）的輸出端貫穿嫁接板A（402）的底部，并固定插設在轉盤（404）的內部，所述裝配外殼（1）的外壁一側開設有進料視窗（411）。

5.根據權利要求1所述的避免表面損傷的半導體晶片用兆聲清洗裝置，其特征在于：所述廢液凈化機構（5）包括兩個加強板B（501），兩個所述加強板B（501）的底部之間焊接有U型架B（502），所述U型架B（502）的內壁兩側均固定安裝有鎖死板（503），兩個所述鎖死板（503）的相對一側之間固定安裝有回收筒（504）。

6.根據權利要求5所述的避免表面損傷的半導體晶片用兆聲清洗裝置，其特征在于：所述回收筒（504）的頂部固定連通有一組回流管道（505），一組所述回流管道（505）的進液端分別與排液孔洞（209）相連通，一組所述回流管道（505）的內部均設置有電動閥門（506）。

7.根據權利要求5所述的避免表面損傷的半導體晶片用兆聲清洗裝置，其特征在于：所述回收筒（504）的內表壁固定安裝有內接環（507），所述內接環（507）的內部設置有過濾板（508），所述回收筒（504）的內壁底部固定安裝有接線板（509），所述接線板（509）的頂部固定連接有一組觸點底座（510），一組所述觸點底座（510）的內部均固定連接有導電桿（511）。