[發(fā)明專利]一種超高純GeCl4 在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202211197989.0 | 申請(qǐng)日: | 2022-09-29 |
| 公開(公告)號(hào): | CN115477322A | 公開(公告)日: | 2022-12-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 匡子登;崔丁方;雷華志;彭明清;子光平;繆彥美;李玉章;張陽(yáng)陽(yáng);張虎 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 云南馳宏國(guó)際鍺業(yè)有限公司 |
| 主分類號(hào): | C01G17/04 | 分類號(hào): | C01G17/04 |
| 代理公司: | 北京名華博信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11453 | 代理人: | 薛飛 |
| 地址: | 655011 云南省曲靖*** | 國(guó)省代碼: | 云南;53 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 高純 gecl base sub | ||
1.一種超高純GeCl4制備方法,其特征在于,步驟如下:
(1)將高純石英管放置在碳膜機(jī)內(nèi),在石英管表面鍍一層碳膜;
(2)將區(qū)熔鍺錠放置在鍍完碳膜的石英管內(nèi);
(3)在石英管上接進(jìn)氣口和出氣口,并在出氣口處接冷凝器和液態(tài)GeCl4盛裝桶;
(4)將石英管放置在高頻感應(yīng)線圈內(nèi)部,待用;
(5)向石英管內(nèi)通高純Cl2,排除管內(nèi)空氣;
(6)待管內(nèi)空氣排盡后,打開高頻感應(yīng)線圈電源,通電加熱區(qū)熔鍺,持續(xù)供Cl2;
(7)打開高頻感應(yīng)線圈的同時(shí)打開冷凝器開關(guān)通低溫冷卻鹽水,生成的氣態(tài)GeCl4通過冷凝器冷凝后形成液態(tài),并灌入盛裝桶,完成超高純GeCl4制備。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:所述石英管是有兩對(duì)半半圓管道組成,直徑為50-150mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:所述碳膜是有正丁烷在碳膜機(jī)內(nèi)離子化分解而成,其厚度大于3.5μm,結(jié)構(gòu)為類金剛石結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:所述區(qū)熔鍺含鍺量大于7N。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:所述高頻感應(yīng)線圈內(nèi)徑比石英管外徑大5-10mm,線圈輸出功率大于1500W。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:所述高純Cl2純度大于5N,在石英管內(nèi)的通入流量30-100L/min,溫度10-45℃,壓力1-10kPa。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(6)中將鍺加熱到630℃以上,讓鍺和Cl2自發(fā)反應(yīng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:所述冷凝器內(nèi)部通-20℃以下的鹽水,流量10-40L/min。
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