[發明專利]一種以拋物線規律分級的高精度激光調阻方法在審

申請號：	202211188981.8	申請日：	2022-09-28
公開（公告）號：	CN115691922A	公開（公告）日：	2023-02-03
發明（設計）人：	蒲健;陳茂;馮江濤;池波	申請（專利權）人：	江蘇精瓷智能傳感技術研究院有限公司
主分類號：	H01C17/242	分類號：	H01C17/242
代理公司：	常州市夏成專利事務所(普通合伙) 32233	代理人：	張經綸
地址：	213000 ***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種拋物線規律分級高精度激光方法
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【說明書】：

本發明涉及激光調阻的技術領域，尤其涉及一種以拋物線規律分級的高精度激光調阻方法。通過設置以拋物線規律變化的電阻增量，并在調阻前建立每級調阻電阻增量和誤差的數據表，以及調阻點和電阻增量的對應關系，在調阻過程中實時判斷并自動選擇調阻的增量，使被調電阻能迅速接近目標阻值，再切割短精調線完成調阻。通過設置按拋物線變化的電阻增量，有效減少了調阻的次數，且分級調阻中僅需要切斷調阻點圖案線條，不需要連續切割，精調過程中也不需要切割長精調線，而僅需要激光短程切割一條短精調線，因此簡化了調阻過程，并大大減少了調阻過程中產生的熱量，從而提高了調阻精度，提高了調阻效率。

技術領域

本發明涉及一種激光調阻，尤其涉及一種以拋物線規律分級的高精度激光調阻方法。

背景技術

薄膜鉑電阻溫度傳感器在0 ℃時的典型電阻值為100.000 ± 0.059 Ω，常見的薄膜批量成型工藝均難以直接滿足此要求范圍，而是需要在后續工藝中進行修調。采用激光切割薄膜圖案進行修調是常見的調阻方式，原理上能兼具效率和精度要求，但是在激光連續切割過程中容易產生大量熱量，造成溫度變化，改變被調薄膜的電阻值，進而影響調阻過程，影響調阻精度，因此如何在激光調阻過程中減少熱量的產生是提高調阻精度的重要考慮因素。

專利CN113284688A公開了一種雙精調線高溫薄膜鉑電阻的調阻方法，在切割長精調線的基礎上繼續切割一條短精調線，彌補第一次切割長精調線產生熱量造成的誤差，從而提高調阻的精度。但其只公開了精調過程，沒有公開粗調過程，或是無需粗調，則對薄膜圖案制備精度要求高，且仍然需要切割長精調線，產生大量熱量，因此在調阻過程中需要等待被調電阻冷卻，這不利于大批量生產效率的提高。

專利CN111609947A公開了一種高精度溫度傳感器芯片的調阻方法，通過切割薄膜圖案中預先設計的短接電阻條，使定值電阻條串接至主干電阻條中，實現阻值上升至接近目標阻值，再切割多個調阻片，實現電阻精調。但其調阻電路中多個定值電阻條電阻相等或遞減，調阻時需要連續切割多個短接電阻條，且每級調阻電路均如此，在切割完多個短接電阻條后，仍需要切割多個調阻片進行精調，使得切割次數較多。

發明內容

本發明旨在解決上述缺陷，提供一種以拋物線規律分級的高精度激光調阻方法，本發明通過設置以拋物線規律變化的電阻增量，并在調阻前建立每級調阻電阻增量及誤差的數據表，在調阻過程中實時判斷并自動選擇調阻的增量，使被調電阻能迅速接近目標阻值，再切割短精調線完成調阻。通過設置按拋物線變化的電阻增量，有效減少了調阻的次數，分級調阻中激光僅需切斷調阻點的圖案線條，不需要連續切割，在電阻精調過程中也不需要切割長精調線，而只需要切割一條短精調線，因此簡化了調阻過程，并大大減少了調阻過程中產生的熱量，從而提高了調阻精度，提高了調阻效率。

為了克服背景技術中存在的缺陷，本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：這種以拋物線規律分級的高精度激光調阻方法，包括以下步驟：

S1. 確定調阻前參數，包括以下步驟：

S101. 確定0 ℃時的目標電阻R₀；

S102. 確定被調電阻的電阻溫度系數α；

S103. 確定調阻所處環境溫度T；

S104. 根據電阻溫度系數確定當前溫度T下的目標阻值R₁；

S105. 確定當前溫度T下目標阻值R₁的要求范圍；

S106. 建立當前溫度T下切割每個調阻點的電阻增量及誤差的數據表，其中電阻增量呈拋物線變化；

S107. 建立調阻點位置與電阻增量對應關系的程序，以便自動選擇調阻點；

S2. 分級調阻，包括以下步驟：

S201. 測量當前被調電阻值；

S202. 判斷當前被調電阻值是否在設計范圍內，若是，進入S203，若否，進入步驟S4；