[發明專利]一種汞源爐及其補充汞液的方法

有效

• 申請號: 202211137323.6
• 申請日: 2022-09-19
• 公開（公告）號: CN115386960B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發明（設計）人: 龔欣;陳峰武;魏唯;陳長平;肖慧;寧澍
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C30B29/48
• 分類號: C30B29/48;C30B23/02
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 徐好

1.一種汞源爐，其特征在于：包括位于真空腔室(5)外部的料罐(11)、閥控組件(2)、輸送管道(3)、以及位于真空腔室(5)內部的噴射管(4)，所述料罐(11)、所述輸送管道(3)和所述噴射管(4)依次連通，所述料罐(11)上設有真空閥(13)、注液閥(14)和排液閥(15)，所述閥控組件(2)設于所述輸送管道(3)上，閥控組件(2)包括并聯的截止閥(21)和計量閥(22)，所述截止閥(21)的流導大于所述計量閥(22)的流導。

2.根據權利要求1所述的汞源爐，其特征在于：所述料罐(11)、所述閥控組件(2)、所述輸送管道(3)和所述噴射管(4)沿汞蒸氣輸送方向溫度逐漸升高。

3.根據權利要求2所述的汞源爐，其特征在于：所述料罐(11)的溫度為180℃至190℃，所述閥控組件(2)的溫度為190℃至200℃，所述輸送管道(3)的溫度為200℃至210℃，所述噴射管(4)的溫度為350℃至400℃。

4.根據權利要求3所述的汞源爐，其特征在于：所述料罐(11)配設有料罐加熱器(12)，所述閥控組件(2)配設有閥門加熱器(23)或與所述料罐(11)共用加熱器，所述噴射管(4)配設有噴射管加熱器(42)。

5.根據權利要求1所述的汞源爐，其特征在于：所述料罐(11)上還設有液位傳感器。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的汞源爐，其特征在于：所述截止閥(21)為全金屬角閥。

7.根據權利要求1至5中任一項所述的汞源爐，其特征在于：所述計量閥(22)為針閥。

8.根據權利要求1至5中任一項所述的汞源爐，其特征在于：所述輸送管道(3)靠近所述噴射管(4)的一端為波紋管，并配設有波紋管加熱套。

9.根據權利要求1至5中任一項所述的汞源爐，其特征在于：所述閥控組件(2)設于所述輸送管道(3)靠近所述料罐(11)的一端。

10.一種權利要求1至9中任一項所述的汞源爐補充汞液的方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1、關閉所述截止閥(21)和所述計量閥(22)，打開所述真空閥(13)外接氮氣管路進行充氣操作；

S2、待所述料罐(11)恢復常壓狀態后，打開所述注液閥(14)完成汞液補充操作，然后關閉所述注液閥(14)；

S3、通過所述真空閥(13)外接粗抽泵進行預抽真空操作，待所述料罐(11)達到設計真空度后，關閉所述真空閥(13)，再打開所述截止閥(21)，通過真空腔室(5)內的泵組將所述料罐(11)抽至高真空狀態，關閉所述截止閥(21)。