[發(fā)明專利]一種用于浸沒式液冷抑制氟化液揮發(fā)和處理氟氣的裝置及方法

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• 申請日: 2022-09-08
• 公開（公告）號: CN115643719A
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發(fā)明（設計）人: 袁琳慧;王瑜;康娜
• 申請（專利權）人: 南京工業(yè)大學
• 主分類號: H05K7/20
• 分類號: H05K7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于浸沒式液冷抑制氟化液揮發(fā)和處理氟氣的裝置，其特征在于：

由液冷柜(1)、服務器(2)、氟化液抑制揮發(fā)裝置、氟氣處理裝置和監(jiān)測裝置五部分組成。

所述液冷柜(1)內(nèi)浸沒氟化液；所述液冷柜(1)外壁上設有進液口(1-1)、出液口(1-2)和出氣口(1-3)，所述進液口(1-1)和出液口(1-2)位于液冷柜同側(cè)側(cè)壁，所述出液口(1-2)的位置高于進液口(1-1)的位置，所述出氣口(1-3)位于液冷柜(1)頂部；

所述服務器(2)的底部放置在液冷柜(1)底部，所述服務器(2)完全浸沒于氟化液中；所述服務器(2)最頂端的高度低于出液口(1-2)最底端的高度，所述服務器(2)平行于液冷柜(1)的左右兩側(cè)壁；

所述氟化液抑制揮發(fā)裝置包括風冷預冷裝置(3)和第一流量調(diào)節(jié)閥(6-1)，所述風冷預冷裝置(3)通過管道和第一流量調(diào)節(jié)閥(6-1)連接，所述第一流量調(diào)節(jié)閥(6-1)通過管道和進液口(1-1)連接；

所述氟氣處理裝置包括抽氣箱(4)、第二流量調(diào)節(jié)閥(6-2)和反應罐(5)，所述抽氣箱(4)通過管道和出氣口(1-3)連接，所述第二流量調(diào)節(jié)閥(6-2)通過管道和抽氣箱(4)連接，所述反應罐(5)通過管道和第二流量調(diào)節(jié)閥(6-2)連接；

所述監(jiān)測裝置包括第一溫度傳感器(7-1)、第二溫度傳感器(7-2)、氟氣檢測裝置(8)和壓力傳感器(9)，所述第一溫度傳感器(7-2)安裝在進液口(1-1)，所述第二溫度傳感器(7-2)安裝在出液口(1-2)，所述氟氣檢測裝置(8)和壓力傳感器(9)安裝在液冷柜(1)頂部。

2.根據(jù)權利要求1所述的用于浸沒式液冷抑制氟化液揮發(fā)和處理氟氣的裝置，其特征在于：所述風冷預冷裝置(3)與第一溫度傳感器(7-1)和第二溫度傳感器(7-2)電連接，所述第一流量調(diào)節(jié)閥(6-1)與第一溫度傳感器(7-1)和第二溫度傳感器(7-2)電連接。

3.根據(jù)權利要求1所述的用于浸沒式液冷抑制氟化液揮發(fā)和處理氟氣的裝置，其特征在于：所述抽氣箱(4)中安裝有抽氣泵(4-1)，所述抽氣泵(4-1)與壓力傳感器(9)電連接。

4.根據(jù)權利要求1所述的用于浸沒式液冷抑制氟化液揮發(fā)和處理氟氣的裝置，其特征在于：所述氟化液外循環(huán)散熱裝置包括液泵(12)、板式換熱器(11)和儲液罐(10)，所述出液口(1-2)通過管道與儲液罐(10)連接，所述儲液罐(10)與板式換熱器(11)連接，所述板式換熱器(11)通過管道與液泵(12)連接，所述液泵(12)通過管道與氟化液抑制揮發(fā)裝置連接。

5.根據(jù)權利要求1所述的用于浸沒式液冷抑制氟化液揮發(fā)和處理氟氣的裝置的方法，其特征在于：

氟化液通過進液口(1-1)進入液冷柜(1)完全浸沒服務器(2)，吸收服務器(2)的發(fā)熱量，攜帶熱量的氟化液從出液口(1-2)流出，分別通過儲液罐(10)、板式換熱器(11)、液泵(12)、氟化液抑制揮發(fā)裝置和進液口(1-1)，回到液冷柜(1)內(nèi)部，構(gòu)成氟化液外循環(huán)；

安裝在液冷柜進液口(1-1)的第一溫度傳感器(7-1)用于檢測進液口(1-1)氟化液溫度，安裝在液冷柜出液口(1-2)的第二溫度傳感器(7-2)用于檢測出液口(1-2)氟化液溫度，當進液口(1-1)和出液口(1-2)的氟化液溫差大于5℃時，風冷預冷裝置(3)和第一流量調(diào)節(jié)閥(6-1)啟動，分別控制進液口(1-1)的氟化液溫度和流速，從而使出液口(1-2)的氟化液溫度降低，抑制氟化液的揮發(fā)；

氟氣檢測裝置(8)用于檢測液冷柜(1)里氟化液揮發(fā)出的氟氣含量，當氟氣含量超過設定值時，打開出氣口(1-3)，對氟氣進行處理；

揮發(fā)產(chǎn)生的氟氣分別通過出氣口(1-3)、抽氣箱(4)和第二流量調(diào)節(jié)閥(6-2)，進入反應罐(5)；抽氣箱(4)中的抽氣泵(4-1)用于抽取和運輸氟氣；調(diào)節(jié)第二流量調(diào)節(jié)閥(6-2)控制進入反應罐(5)的氟氣量，進而控制反應速率，避免氟氣的堆積；氟氣在反應罐(5)中通過用中和劑對氟氣進行處理，反應罐(5)與房間內(nèi)連通室外的出氣管連接，將無害氣體排向室外。

6.根據(jù)權利要求5所述的用于浸沒式液冷抑制氟化液揮發(fā)和處理氟氣的裝置的方法，其特征在于：壓力傳感器(9)用于檢測液冷柜(1)中的壓力，進而控制抽氣泵(4-1)的功率，使液冷柜(1)始終保持正壓。