[發明專利]一種特殊的IPA晶圓干燥方法的集成模組

在審

• 申請號: 202211096518.0
• 申請日: 2022-09-08
• 公開（公告）號: CN116072568A
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 陳新來;張靜;李盼盼;鄧信甫;盧證凱
• 申請（專利權）人: 上海至純潔凈系統科技股份有限公司;至微半導體（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海智力專利商標事務所(普通合伙) 31105
• 代理人: 周濤

1.一種特殊的IPA晶圓干燥方法的集成模組，其特征在于，該IPA晶圓干燥方法中通過一個專門的集成模組(200)向干燥模組(100)的干燥槽體(101)內提供異丙醇和加熱氮氣混合物，該集成模組的組成包括有異丙醇輸入管路(202)、循環超純水輸入管路(205)、循環超純水輸出管路(206)、加熱氮氣輸入管路(203)、混合罐體(201)以及混合后氣液共存液體輸出管路(204)，所述混合罐體(201)結構上包括有外殼和混合罐(207)，所述外殼為帶有罐體門板的箱狀結構，在所述外殼內設有至少一個混合罐(207)；

所述外殼的前側壁靠近底部位置設有異丙醇輸入端口(211)，該異丙醇輸入端口(211)連接所述的異丙醇輸入管路(202)，在所述外殼的一側壁設有超純水輸入端口(212)和超純水輸出端口(213)，分別對應連接所述的循環超純水輸入管路(205)和循環超純水輸出管路(206)，在所述外殼的后側壁上設有加熱氮氣輸入端口(214)，該加熱氮氣輸入端口(214)連接所述的加熱氮氣輸入管路(203)，在所述外殼的后側壁上還設有混合后氣液共存體輸出端口(215)，該混合后氣液共存體輸出端口(215)連接混合后氣液共存液體輸出管路(204)的一端，該混合后氣液共存液體輸出管路(204)的另一端聯通至槽體上蓋(102)上，以將異丙醇和加熱氮氣混合物輸送至所述干燥槽體(101)內；

所述的混合罐(207)外形呈圓柱體，該混合罐(207)通過一個上安裝塊(220)和一個下安裝塊(221)上下夾持固定于所述的外殼內，在混合罐(207)的側壁上設有至少一個貫穿內外的液位偵測儀，所述混合罐(207)內部為包括渦流混合道(216)、緩沖回流槽(217)和熱水浴區域(218)的三層結構，其中渦流混合道(216)為混合罐(207)中心設置的倒錐形空腔，所述混合罐(207)的底部中心位置設有罐體入口(222)，所述混合罐(207)的頂部中心位置設有罐體出口(223)，所述的罐體入口(222)聯通異丙醇輸入端口(211)以接收異丙醇輸入至渦流混合道(216)內，所述混合罐(207)內的緩沖回流槽(217)上方位置聯通所述的加熱氮氣輸入端口(214)以接收加熱氮氣，所述混合罐(207)內的熱水浴區域(218)聯通所述的超純水輸入端口(212)和超純水輸出端口(213)以接收循環超純水，所述的罐體出口(223)聯通所述的混合后氣液共存體輸出端口(215)。

2.根據權利要求1所述的一種特殊的IPA晶圓干燥方法的集成模組，其特征在于，在所述的混合罐體(201)中，同一個外殼內并排設有兩個混合罐(207)。

3.根據權利要求1所述的一種特殊的IPA晶圓干燥方法的集成模組，其特征在于，所述的循環超純水輸入管路(205)聯通一個超純水供應器，并在循環超純水輸入管路(205)上設有加熱器，在所述加熱器與超純水輸出端口(213)之間設有加熱偵測器，所述的循環超純水輸出管路(206)聯通所述的超純水供應器，并在循環超純水輸出管路(206)上設有冷卻器和循環泵，在冷卻器與循環泵中間還設有一個降溫偵測器。

4.根據權利要求1所述的一種特殊的IPA晶圓干燥方法的集成模組，其特征在于，在所述加熱氮氣輸入端口(214)處還設有一個氮氣回收端口，連接至所述加熱氮氣輸入端口(214)的加熱氮氣輸入管路(203)連接至一個氮氣供應器上，在加熱氮氣輸入管路(203)上設有加熱器，所述的氮氣回收端口通過管路連接氮氣供應器以對使用過的氮氣回收純化。

5.根據權利要求4所述的一種特殊的IPA晶圓干燥方法的集成模組，其特征在于，在所述箱體內還設有氣體溢流控制抽氣閥，當液位偵測儀偵測到加熱氮氣供應過量時,聯動排氣結構配置實現氮氣排放減壓。

6.根據權利要求1所述的一種特殊的IPA晶圓干燥方法的集成模組，其特征在于，每個所述混合罐(207)的側壁上設有三個液位偵測儀，自上而下分別為上液位偵測儀(208)、中液位偵測儀(209)和下液位偵測儀(210)，三個液位偵測儀的外部均固定在同一個定位條上，該定位條通過上端和下端連接在外殼中。