[發明專利]一種絲網印刷異常硅片的處理方法

在審

• 申請號: 202211082918.6
• 申請日: 2022-09-06
• 公開（公告）號: CN115360269A
• 公開（公告）日: 2022-11-18
• 發明（設計）人: 何帥;付少劍;郁寅瓏;范洵;蔣鍇
• 申請（專利權）人: 滁州捷泰新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0236;H01L21/02;B08B1/00;B08B3/08;B08B3/10
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 黎雷

1.一種絲網印刷異常硅片的處理方法，其特征在于，所述方法包括：

對絲網印刷異常硅片進行第一清洗工藝，去除表面的印刷漿料；

對去除印刷漿料的絲網印刷異常硅片進行第二清洗工藝，去除氮化硅減反射膜；

對去除氮化硅減反射膜的絲網印刷異常硅片進行制絨。

2.根據權利要求1所述的絲網印刷異常硅片的處理方法，其特征在于，所述第一清洗工藝包括：

利用酒精擦拭所述絲網印刷異常硅片。

3.根據權利要求2所述的絲網印刷異常硅片的處理方法，其特征在于，所述利用酒精擦拭所述絲網印刷異常硅片之后，所述第一清洗工藝還包括：

利用第一混合酸液對所述絲網印刷異常硅片進行清洗；

其中，所述第一混合酸液中包括鹽酸和硝酸。

4.根據權利要求3所述的絲網印刷異常硅片的處理方法，其特征在于，所述利用第一混合酸液對所述絲網印刷異常硅片進行清洗之后，所述第一清洗工藝還包括：

對所述絲網印刷異常硅片進行鼓泡清洗。

5.根據權利要求1所述的絲網印刷異常硅片的處理方法，其特征在于，所述第二清洗工藝包括：

利用氫氟酸對所述絲網印刷異常硅片進行清洗。

6.根據權利要求5所述的絲網印刷異常硅片的處理方法，其特征在于，所述利用氫氟酸對所述絲網印刷異常硅片進行清洗之后，所述第二清洗工藝還包括：

利用第二混合酸液對所述絲網印刷異常硅片進行清洗；

其中，所述第二混合酸液中包括鹽酸和氫氟酸。

7.根據權利要求6所述的絲網印刷異常硅片的處理方法，其特征在于，所述利用氫氟酸對所述絲網印刷異常硅片進行清洗之后，以及所述利用第二混合酸液對所述絲網印刷異常硅片進行清洗之前，所述第二清洗工藝還包括：

利用雙氧水和氫氧化鈉的混合液對所述絲網印刷異常硅片進行清洗。

8.根據權利要求1所述的絲網印刷異常硅片的處理方法，其特征在于，所述對去除印刷漿料的絲網印刷異常硅片進行第二清洗工藝之后，所述方法還包括：

對所述絲網印刷異常硅片依次進行鼓泡清洗、脫水處理和烘干處理。

9.根據權利要求1所述的絲網印刷異常硅片的處理方法，其特征在于，所述對絲網印刷異常硅片進行第一清洗工藝之前，所述方法還包括：

判斷所述絲網印刷異常硅片是否需要進行去膜清洗；

若需要，則對所述絲網印刷異常硅片進行所述第一清洗工藝，并在所述第一清洗工藝之后，對所述絲網印刷異常硅片進行所述第二清洗工藝；

若不需要，則對所述絲網印刷異常硅片進行所述第一清洗工藝，并在所述第一清洗工藝之后，對所述絲網印刷異常硅片進行印刷。

10.根據權利要求9所述的絲網印刷異常硅片的處理方法，其特征在于，所述方法還包括：

在所述絲網印刷異常硅片不需要進行去膜清洗的情況下，若對所述絲網印刷異常硅片進行所述第一清洗工藝的過程中，所述絲網印刷異常硅片產生劃傷，則在所述第一清洗工藝之后，對所述絲網印刷異常硅片進行所述第二清洗工藝。