[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體清洗劑及其制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202211074286.9 | 申請(qǐng)日： | 2022-09-03 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN115418280B | 公開（公告）日： | 2023-08-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 童晨;吳海燕;陳桂紅;孫元;韓成強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 昆山晶科微電子材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C11D1/83 | 分類號(hào)： | C11D1/83;C11D3/16;C11D3/20;C11D3/22;C11D3/33;C11D3/60;C11D7/06;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/50;C11D7/60;C11D11/00 |
| 代理公司： | 北京維正專利代理有限公司 11508 | 代理人： | 何佑英 |
| 地址： | 215000 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 半導(dǎo)體 洗劑 及其 制備 方法 | ||
1.一種半導(dǎo)體清洗劑，其特征在于，由A組分和B組分組成；所述A組分由以下重量份原料組成：20-30份有機(jī)酸、2-8份絡(luò)合劑、8-12份表面活性劑、80-100份水、11-15份助劑；所述B組分由以下重量份原料組成：10-20份堿性物質(zhì)、5-8份助溶劑、100-120份水；所述有機(jī)酸由琥珀酸、蓖麻油酸和甘氨酸混合而得，所述琥珀酸和蓖麻油酸的質(zhì)量比為(3-5):2，所述甘氨酸的添加量為琥珀酸和蓖麻油酸總量的20-30%，所述絡(luò)合劑由質(zhì)量比為3:(1-5)的乙二胺四乙酸四鈉、葡萄糖酸鈉復(fù)配而得；所述表面活性劑由質(zhì)量比為(3-7):2:(1-5)的槐糖脂、烷基糖苷與椰油?；谆；撬徕c混合而得；所述堿性物質(zhì)為氫氧化鈉和三乙醇胺按照質(zhì)量比為(11-15):12進(jìn)行混合；所述助溶劑為乙二醇丁醚和/或蓖麻油與環(huán)氧乙烷縮合物；所述助劑由以下重量份原料及方法制得：3-4份酒石酸、2-3份3-(2-氨乙基)-氨丙基三甲氧基硅烷、2-3份羧甲基殼聚糖、4-5份PEG-6000單油酸酯、15-18份異丙醇，將3-(2-氨乙基)-氨丙基三甲氧基硅烷、異丙醇混合，加熱至60-70℃，在轉(zhuǎn)速為600-800r/min下，攪拌20-30min后，再加入酒石酸、羧甲基殼聚糖、PEG-6000單油酸酯，升溫至75-80℃，在轉(zhuǎn)速為800-1000r/min下，攪拌30-40min，即得助劑；所述的半導(dǎo)體清洗劑制備方法如下：
S1、A組分的制備：按配方，取有機(jī)酸、絡(luò)合劑、表面活性劑、助劑加入水中，在水浴溫度為50-60℃，以轉(zhuǎn)速為1000-2000r/min攪拌30-60min，進(jìn)行充分混合后，得A組分，備用；
S2、B組分的制備：按配方，取堿性物質(zhì)、助溶劑加入水，超聲分散10-30min，得B組分，備用；
S3、步驟S1得到的A組分與步驟S2得到的B組分按質(zhì)量比為(3-7):5，分別進(jìn)行封裝后，組合獲得半導(dǎo)體清洗劑。
2.一種權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體清洗劑的制備方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體清洗劑的制備方法如下：
S1、A組分的制備：按配方，取有機(jī)酸、絡(luò)合劑、表面活性劑、助劑加入水中，在水浴溫度為50-60℃，以轉(zhuǎn)速為1000-2000r/min攪拌30-60min，進(jìn)行充分混合后，得A組分，備用；
S2、B組分的制備：按配方，取堿性物質(zhì)、助溶劑加入水，超聲分散10-30min，得B組分，備用；
S3、步驟S1得到的A組分與步驟S2得到的B組分按質(zhì)量比為(3-7):5，分別進(jìn)行封裝后，組合獲得半導(dǎo)體清洗劑。
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