[發明專利]一種銅蝕刻液及制備方法和應用

有效

• 申請號: 202211073590.1
• 申請日: 2022-09-02
• 公開（公告）號: CN115433940B
• 公開（公告）日: 2023-10-24
• 發明（設計）人: 趙方方;李泰亨;王丹宇;白曉鵬;王澤;陳紅波;董童威
• 申請（專利權）人: 易安愛富（武漢）科技有限公司
• 主分類號: C23F1/18
• 分類號: C23F1/18
• 代理公司: 武漢紅觀專利代理事務所(普通合伙) 42247
• 代理人: 趙志汝

1.一種銅蝕刻液，其特征在于：包括磷酸、強氧化性酸、抑制劑、表面活性劑、分散劑和去離子水；所述分散劑為奈系磺酸鹽、木質素磺酸鹽、腐殖酸鈉和聚羧酸鹽中的一種或多種組合。

2.如權利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于：按照質量百分比100％計算，所述蝕刻液包括10-20％的磷酸、1-10％的強氧化性酸、0.05-1％的抑制劑、0.01-1％的表面活性劑、0.01-1％的分散劑，余量為去離子水。

3.如權利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于：所述奈系磺酸鹽為亞甲基二萘磺酸鈉、甲基萘磺酸鹽甲醛縮合物和芐基萘磺酸鹽甲醛縮合物中的一種或多種組合；木質素磺酸鹽為木質素磺酸鈉、木質素磺酸鉀和木質素磺酸鈣中的一種或多種組合；聚羧酸鹽為TERSPERSE 2700、SD-819、GYD-1252和SD-661中的一種或多種組合。

4.如權利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于：還包括生物絮凝劑，所述生物絮凝劑為聚氨基酸、葡聚糖、甘露聚糖、糖蛋白和N-乙酰葡萄糖胺中的一種或多種組合。

5.如權利要求4所述的一種銅蝕刻液，其特征在于：按照質量百分比100％計算，所述銅蝕刻液包括10-20％的磷酸、4-8％的強氧化性酸、0.2-0.4％的抑制劑、0.2-0.4％的表面活性劑、0.3-0.4％的分散劑、0.5-0.9％的生物絮凝劑，余量為去離子水。

6.如權利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于：所述強氧化性酸為硫酸、鹽酸、高氯酸和硝酸中的一種或多種組合。

7.如權利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于：所述抑制劑為5-甲基四唑、5-氨基四唑、苯并三氮唑和咪唑中的一種或多種組合。

8.如權利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于：所述表面活性劑為異丙醇、2-苯氧基乙醇、炔二醇和聚乙二醇中的一種或多種組合。

9.如權利要求4所述的一種銅蝕刻液的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：將磷酸、強氧化性酸和去離子水加入容器中，在25℃、600-800rpm下攪拌10-20min；然后加入抑制劑、表面活性劑、分散劑和生物絮凝劑，在25℃、800-1000rpm下攪拌10-30min。

10.如權利要求1-8任一所述的一種銅蝕刻液的應用，其特征在于：在32℃條件下，使用銅蝕刻液對基板上的金屬銅進行選擇性蝕刻。