[發(fā)明專利]一種適用于半導(dǎo)體部件的直徑檢具

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202211067200.X
• 申請(qǐng)日: 2022-09-01
• 公開（公告）號(hào): CN115420165A
• 公開（公告）日: 2022-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王家安;楊佐東;田陳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶臻寶實(shí)業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): G01B5/00
• 分類號(hào): G01B5/00;G01B5/08
• 代理公司: 重慶樂泰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 50221
• 代理人: 郭澤培

本發(fā)明公開了一種適用于半導(dǎo)體部件的直徑檢具，屬于下部電極測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，包括檢驗(yàn)平臺(tái)、形成在所述檢驗(yàn)平臺(tái)一側(cè)的凸臺(tái)、設(shè)置在所述凸臺(tái)內(nèi)的測(cè)量組件、設(shè)置在在所述檢驗(yàn)平臺(tái)另一側(cè)的推動(dòng)安裝座，所述凸臺(tái)朝向推動(dòng)安裝座一側(cè)的側(cè)面上開設(shè)有V型槽，所述V型槽的開口大小與下部電極相適應(yīng)，所述推動(dòng)安裝座用于對(duì)下部電極進(jìn)行平面支撐且將其移動(dòng)至V型槽內(nèi)；所述測(cè)量組件包括檢驗(yàn)柱、杠桿、第一表式測(cè)量工具。本發(fā)明裝置能夠在測(cè)量過程中有效的避免下部電極的外圓棱邊與檢具接觸，保證下部電極不會(huì)受到破壞，測(cè)量過程更為方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于下部電極測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種適用于半導(dǎo)體部件的直徑檢具。

背景技術(shù)

下部電極被廣泛應(yīng)用于諸如平板顯示器件、集成電路的干法刻蝕工藝中，有的采用石英材料制成，由于其存在硬脆的特點(diǎn)，在其加工過程中，現(xiàn)有技術(shù)經(jīng)常會(huì)運(yùn)用游標(biāo)卡尺對(duì)其直徑進(jìn)行測(cè)量。但是游標(biāo)卡尺在對(duì)下部電極進(jìn)行測(cè)量的過程中，游標(biāo)卡尺的外測(cè)量爪極易和下部電極的外圓棱邊進(jìn)行接觸，導(dǎo)致下部電極遭到破壞，影響產(chǎn)品的正常交付。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種適用于半導(dǎo)體部件的直徑檢具，能夠在測(cè)量過程中有效的避免下部電極的外圓棱邊與檢具接觸，保證下部電極不會(huì)受到破壞，測(cè)量過程更為方便。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

本發(fā)明一種適用于半導(dǎo)體部件的直徑檢具，包括檢驗(yàn)平臺(tái)、形成在所述檢驗(yàn)平臺(tái)一側(cè)的凸臺(tái)、設(shè)置在所述凸臺(tái)內(nèi)的測(cè)量組件、設(shè)置在在所述檢驗(yàn)平臺(tái)另一側(cè)的推動(dòng)安裝座，所述凸臺(tái)朝向推動(dòng)安裝座一側(cè)的側(cè)面上開設(shè)有V型槽，所述V型槽的開口大小與下部電極相適應(yīng)，所述推動(dòng)安裝座用于對(duì)下部電極進(jìn)行平面支撐且將其移動(dòng)至V型槽內(nèi)；所述測(cè)量組件包括檢驗(yàn)柱、杠桿、第一表式測(cè)量工具，所述檢驗(yàn)柱的一端伸出所述V型槽的底部，所述檢驗(yàn)柱的另一端相對(duì)于所述凸臺(tái)滑動(dòng)配合且連接至杠桿的一端，所述杠桿的中部與所述凸臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述杠桿的另一端連接至所述第一表式測(cè)量工具。

進(jìn)一步，所述測(cè)量組件還包括第一插柱、第二插柱、第一滑桿和第二滑桿，所述凸臺(tái)的朝向推動(dòng)安裝座一側(cè)的側(cè)面上開設(shè)有分別用于安裝第一插柱和第二插柱的第一插孔和第二插孔，所述第一插柱的外端面上形成有與所述檢驗(yàn)柱滑動(dòng)配合的滑孔，所述檢驗(yàn)柱的內(nèi)端固定連接有頂針，在于所述滑孔的內(nèi)端在第一插柱上設(shè)置有第一滑槽，所述第一滑桿滑動(dòng)設(shè)置在第一滑槽內(nèi)，所述第一滑桿的下端與所述頂針連接，所述第一滑桿的上端伸出所述第一滑槽后鉸接至杠桿的一端，所述杠桿的中部與所述凸臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述杠桿的另一端鉸接至第二滑桿，所述第二插柱上開設(shè)有第二滑槽，所述第二滑桿滑動(dòng)設(shè)置在第二滑槽內(nèi)，所述第二滑桿的下端連接至所述第一表式測(cè)量工具的測(cè)量頭，所述第二插柱上設(shè)置有用于安裝所述第一表式測(cè)量工具的安裝孔。

進(jìn)一步，所述第一插柱的內(nèi)端開設(shè)有第一限位槽，所述第一限位槽內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)配合有第一限位板，所述第一限位板固定連接至第一螺桿，所述第一螺桿伸出所述凸臺(tái)且與所述凸臺(tái)螺紋配合，所述第二插柱的內(nèi)端開設(shè)有第二限位槽，所述第二限位槽內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)配合有第二限位板，所述第二限位板固定連接至第二螺桿，所述第二螺桿伸出所述凸臺(tái)且與所述凸臺(tái)螺紋配合。

進(jìn)一步，所述第一插柱內(nèi)固定安裝有滑動(dòng)軸承，所述滑動(dòng)軸承的內(nèi)孔形成所述滑孔。

進(jìn)一步，所述凸臺(tái)的側(cè)面上設(shè)置有第一梯形塊和第二梯形塊，所述第一梯形塊和第二梯形塊相隔形成所述V型槽，所述第一梯形塊和第二梯形塊分別與所述凸臺(tái)連接配合，使得第一梯形塊和第二梯形塊之間能夠相對(duì)調(diào)整位置以改變V型槽的開口寬度。

進(jìn)一步，所述第一梯形塊和第二梯形塊相互對(duì)稱，所述第一梯形塊內(nèi)設(shè)置有容納腔，所述容納腔內(nèi)填充有若干橡膠球和毛皮球，所述容納腔通過一通道連接至風(fēng)機(jī)，容納腔上設(shè)置有若干并列設(shè)置的開口。